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公开(公告)号：CN119502559A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411132112.2
申请日：2024-08-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 使用了一种液体喷射头，它包括：第一基板和第二基板的接合基板，该第一基板和第二基板层叠并且利用粘接剂来接合。在液体喷射头中，接合基板有液体通道，第一基板和第二基板通过该液体通道连通，在该第一基板和第二基板的接合位置上，粘接剂布置在拐角部分处，以便在它的横截面上形成朝向拐角部分凸起的弧形形状，该拐角部分形成于与液体通道相对应的位置处，拐角部分由第一基板的端面和第二基板的平面形成，且在接合位置上，从第一基板通过布置在拐角部分上的粘接剂而连续提供保护膜。
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公开(公告)号：CN107433776B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201710377889.9
申请日：2017-05-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 液体喷出头、液体喷出头的制造方法和打印方法。一种液体喷出头，其包括：硅基板；以及元件，其用于产生喷出所述硅基板上的液体用的能量，其中，在所述硅基板的第一表面上布置有包含金属氧化物的保护层A，在所述保护层A上布置有包含有机树脂并且构成部分液体流路的结构体，并且在所述保护层A和所述结构体之间布置有包含硅化合物的中间层A。
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公开(公告)号：CN102741155A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201180005841.6
申请日：2011-01-13
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1642
Abstract: 一种硅基板的加工方法，其包括：设置第一硅基板、第二硅基板和包括多个凹部的中间层的组合，所述中间层设置在第一硅基板和第二硅基板之间；在第一硅基板的与中间层的接合面相对的表面上，通过使用第一掩模，进行第一硅基板的蚀刻而形成贯通第一硅基板的第一贯通口，并露出对应于中间层的多个凹部的中间层部分；通过去除构成多个凹部的底部的部分而在中间层上形成多个开口；和借助使用在其上形成多个开口的中间层作为掩模，通过进行第二硅基板的第二蚀刻而形成贯通第二硅基板的第二贯通口。
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公开(公告)号：CN101632040A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200880007974.5
申请日：2008-03-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/58 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B29C2043/3634 , B29C2043/5833 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01J37/026 , H01J2237/0042 , H01J2237/0047
Abstract: 一种压印方法包括以下步骤：在模具的压印图案与树脂材料接触或接近的状态下，对基板上所形成的树脂材料进行固化；以及将所述模具从所述固化的树脂材料分开。在以用于使得放置有所述模具和所述固化的树脂材料的气氛中的气体分子离子化的电磁波照射形成所述模具的压印图案的整个区域以及固化的树脂材料的同时，实现所述分开。
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公开(公告)号：CN101641281B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200880007687.4
申请日：2008-03-14
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , B81C99/009 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7084 , Y10T428/24479
Abstract: 一种用于将图案压印到待处理部件上的模具由以下构成：具有前表面和后表面的模具体，在所述前表面处形成所述图案，所述后表面与所述前表面相对；用于覆盖所述模具体的前表面的涂层；和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层。所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101681095B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200880016608.6
申请日：2008-05-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0017 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 一种图案形成方法，包括：在形成于基材上的薄膜的表面上形成抗蚀剂的图案的步骤；在抗蚀剂的图案上形成反转层的步骤；通过在去除反转层以露出抗蚀剂的表面之后去除抗蚀剂、形成与抗蚀剂的图案互补的反转层的反转图案的步骤；通过以反转层的反转图案为掩模蚀刻薄膜、形成包含其上形成反转层的薄膜的硬掩模层的步骤；以及以其上保留反转层的硬掩模层或其上已去除反转层的硬掩模层作为掩模蚀刻基材的步骤。
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公开(公告)号：CN101632040B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200880007974.5
申请日：2008-03-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C43/58 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B29C2043/3634 , B29C2043/5833 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01J37/026 , H01J2237/0042 , H01J2237/0047
Abstract: 一种压印方法包括以下步骤：在模具的压印图案与树脂材料接触或接近的状态下，对基板上所形成的树脂材料进行固化；以及将所述模具从所述固化的树脂材料分开。在以用于使得放置有所述模具和所述固化的树脂材料的气氛中的气体分子离子化的电磁波照射形成所述模具的压印图案的整个区域以及固化的树脂材料的同时，实现所述分开。
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公开(公告)号：CN101604124B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200910140939.7
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子(104)，该模子(104)具有包括图案区域(1000)的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记(2070)；使模子(104)的图案区域(1000)与设在衬底(5000)上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底(5000)上的对准标记(2070)和衬底(5000)彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记(2070)和在衬底(5000)上设置的标记(5300)，来获得关于模子(104)和衬底(5000)的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底(5000)与模子(104)的高精度对准；相应的模子以及图案形成设备。
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公开(公告)号：CN101641281A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200880007687.4
申请日：2008-03-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B81C99/009 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7084 , Y10T428/24479
Abstract: 一种用于将图案压印到待处理部件上的模具由以下构成：具有前表面和后表面的模具体，在所述前表面处形成所述图案，所述后表面与所述前表面相对；用于覆盖所述模具体的前表面的涂层；和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层。所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。
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