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公开(公告)号：CN115884653A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211611202.0
申请日：2022-12-14
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开一种热电堆传感器性能提升方法、系统及装置，本发明涉及器件性能提升领域，用于解决现有技术中无法同时进行器件性能提升和器件测试的问题及器件性能提升方法复杂的问题。包括：打点器、测试设备、热电堆传感器以及位置移动控制器；位置移动控制器包括第一位置移动控制器以及第二位置移动控制器；第一位置移动控制器设置有打点器及测试设备，在水平方向和竖直方向上移动；第二位置移动控制器上设置有载物台，热电堆传感器放置在载物台上；热电堆传感器在水平方向和竖直方向上移动；打点器将墨点覆盖在热电堆传感器中满足预设条件的器件表面，完成对热电堆传感器的性能提升；测试设备对热电堆传感器进行测试，墨点的直径与厚度可调。
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公开(公告)号：CN114993952A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210642135.2
申请日：2022-06-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及一种多功能SERS检测方法及系统。其提供SERS检测传感器以及对待测样品检测时，将拉曼测试系统所产生的拉曼激光对SERS检测传感器以及所述SERS检测传感器上的待测样品辐照，利用SERS信号采集系统采集待测样品在拉曼激光辐照下的SERS信号；同时，利用器件信号采集系统采集SERS检测传感器电信号，以根据所采集的SERS检测传感器电信号确定拉曼测试系统产生辐照拉曼激光的拉曼激光功率，且根据SERS信号以及所确认的拉曼激光功率确定待测样品的种类以及浓度。本发明在SERS检测的同时可以确定照射到待测样品表面的拉曼激光功率，从而结合所确定的拉曼激光功率准确获得物质种类和浓度信息，提高SERS检测的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119437438A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202310982168.6
申请日：2023-08-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种热电堆探测器以及光谱探测器，涉及光谱检测技术领域，以提供一种高精确、高性能、实时性、低成本光谱检测技术方案。热电堆探测器包括基底结构、热电转换结构，以及相变超材料结构，热电转换结构包括微加热结构以及热电偶结构，热电偶结构设置在基底结构上，微加热结构设置热电偶结构的上方，相变超材料结构设置在微加热结构的上方。相变超材料结构用于在微加热结构的调控下吸收目标波长范围内的光，并将吸收的光能转换为热能后传递给热电偶结构，热电偶结构用于感应微加热结构输出的第一热能和相变超材料结构输出的第二热能，并将第一热能和第二热能转换为电能后输出。
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公开(公告)号：CN118392319A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410198966.4
申请日：2024-02-22
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01J5/12
Abstract: 本公开提供了一种热电堆智能温度传感系统，包括：探测器、处理器以及执行器；其中，所述探测器被配置为通过冷端探测环境温度，通过热端探测待测目标的温度，并根据所述冷端和所述热端之间的温差输出第一热电动势；所述处理器被配置为根据所述第一热电动势，向所述执行器发送调控指令；所述执行器被配置为根据所述调控指令，对所述探测器的冷端所探测的环境温度进行调节。本公开通过在传感器中集成执行器以实现对探测器的冷端所探测到的环境温度的调节，提升第一探测器和第二探测器所探测的温度之间的差值，使探测器输出远大于噪声，便于处理器基于预先标定的方式得到待测目标的准确温度，实现精准测量。
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公开(公告)号：CN116124569A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310124699.1
申请日：2023-02-02
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本申请公开一种实现被检测分子快速富集的SERS检测结构及其制备方法，涉及分子检测技术领域。实现被检测分子快速富集的SERS检测结构，包括相互连接的超疏水SERS单元和加热电阻单元；所述加热电阻单元，用于对所述超疏水SERS单元进行加热，以进行被检测分子的快速富集，本申请中的SERS检测结构在将被检测分子滴加到所述超疏水SERS单元表面时，可以使得被检测分子在超疏水SERS单元表面呈液滴分布，溶剂蒸发后可实现被检测分子的富集，提高检测均一性以及提高检测极限，结合加热电阻单元的加热效果，可加快液滴蒸发速度，实现被检测分子的快速富集，避免由于液滴蒸发时间过长而导致的检测效率低的问题；另外其检测结构制备简单，无需依赖复杂制备步骤，降低了成本。
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公开(公告)号：CN114199934A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111509666.6
申请日：2021-12-10
Applicant: 佛山市川东磁电股份有限公司 , 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明涉及一种适用于热电堆的塞贝克系数测量结构及其制备方法。其包括衬底以及塞贝克系数待测单元体，还包括测温单元体以及设置于衬底背面的背腔；测量时，利用测试热源对所述测温单元体以及塞贝克系数待测单元体同时进行所需的热激发，通过测温单元体测量得到表征塞贝克系数待测单元体热激发前后的测试温度差ΔT，测量所述塞贝克系数待测单元体在相应热激发状态下的输出电压V，则能确定所述塞贝克系数待测单元体的塞贝克系数。本发明能有效实现塞贝克系数的测量，测量效率高，与现有工艺兼容，安全可靠。
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公开(公告)号：CN118405654A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410230626.5
申请日：2024-02-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供了一种热电绝缘的等效悬浮结构及其制备方法，该等效悬浮结构包括：具有背腔结构的基底；在所述基底的一面设置有支撑层，所述支撑层开设有多个贯穿所述支撑层的隔离槽，所述隔离槽内填充有热电绝缘材料，所述隔离槽在预设平面上的正投影均位于所述背腔结构在所述预设平面的正投影内，所述预设平面为所述基底所在的平面。本公开通过在悬浮结构的有效工作区域与基底间的隔离槽中填充低热导率的热电绝缘材料，降低悬桥的应力，提升结构的寿命及稳定性，在确保结构高机械强度的同时，使结构具有低热传导，降低热损耗，提升性能。
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