公开(公告)号：CN118405654A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202410230626.5

申请日：2024-02-29

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 毛海央 ,  张起睿 ,  周娜 ,  石梦 ,  施一直 ,  郭启明

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01D11/00

Abstract: 本公开提供了一种热电绝缘的等效悬浮结构及其制备方法，该等效悬浮结构包括：具有背腔结构的基底；在所述基底的一面设置有支撑层，所述支撑层开设有多个贯穿所述支撑层的隔离槽，所述隔离槽内填充有热电绝缘材料，所述隔离槽在预设平面上的正投影均位于所述背腔结构在所述预设平面的正投影内，所述预设平面为所述基底所在的平面。本公开通过在悬浮结构的有效工作区域与基底间的隔离槽中填充低热导率的热电绝缘材料，降低悬桥的应力，提升结构的寿命及稳定性，在确保结构高机械强度的同时，使结构具有低热传导，降低热损耗，提升性能。

公开(公告)号：CN118392319A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410198966.4

申请日：2024-02-22

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 毛海央 ,  石磊 ,  周娜 ,  施一直 ,  石梦 ,  张起睿 ,  郭启明 ,  吴晋涛

IPC: G01J5/12

Abstract: 本公开提供了一种热电堆智能温度传感系统，包括：探测器、处理器以及执行器；其中，所述探测器被配置为通过冷端探测环境温度，通过热端探测待测目标的温度，并根据所述冷端和所述热端之间的温差输出第一热电动势；所述处理器被配置为根据所述第一热电动势，向所述执行器发送调控指令；所述执行器被配置为根据所述调控指令，对所述探测器的冷端所探测的环境温度进行调节。本公开通过在传感器中集成执行器以实现对探测器的冷端所探测到的环境温度的调节，提升第一探测器和第二探测器所探测的温度之间的差值，使探测器输出远大于噪声，便于处理器基于预先标定的方式得到待测目标的准确温度，实现精准测量。