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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112520688B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202011269623.0
申请日：2020-11-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及一种纳米森林结构的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底表面涂覆聚合物层；对所述聚合物层进行至少一次S1和S2处理：S1、通过第一等离子体进行刻蚀，S2、通过第二等离子体进行重聚形成纳米森林结构。本发明采用特殊的干法刻蚀工艺制作纳米森林结构，通过改变刻蚀与重聚的工艺参数，或者通过改变刻蚀与重聚的循环次数，可以有效控制纳米森林结构的尺寸和密度，从而得到精确可控的纳米森林结构。该制备方法具有加工成本低、加工精度高、制备工艺简单的优点，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN115963925A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211690918.4
申请日：2022-12-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开一种手势识别方法、装置及设备，本发明涉及手势识别技术领域，用于解决现有技术中热电堆传感器无法应用于穿戴式手势识别的问题。方案应用于可穿戴设备；可穿戴设备上设置有第一热电堆传感器和第二热电堆传感器；第一热电堆传感器置于可穿戴设备的指肚外侧手套上；第二热电堆传感器置于每个手指靠近中指的手套侧面上；通过获取第一热电堆传感器的第一输出信号以及第二热电堆传感器的第二输出信号；检测指肚到手掌心的第一距离值以及各个手指间的第二距离值；基于第一距离值以及第二距离值，结合预先设置的映射关系表，确定目标手势。利用非接触式热电堆传感器识别手指相对手掌心、相对其他手指距离以实现非接触式可穿戴手势识别。
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公开(公告)号：CN119437438A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202310982168.6
申请日：2023-08-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种热电堆探测器以及光谱探测器，涉及光谱检测技术领域，以提供一种高精确、高性能、实时性、低成本光谱检测技术方案。热电堆探测器包括基底结构、热电转换结构，以及相变超材料结构，热电转换结构包括微加热结构以及热电偶结构，热电偶结构设置在基底结构上，微加热结构设置热电偶结构的上方，相变超材料结构设置在微加热结构的上方。相变超材料结构用于在微加热结构的调控下吸收目标波长范围内的光，并将吸收的光能转换为热能后传递给热电偶结构，热电偶结构用于感应微加热结构输出的第一热能和相变超材料结构输出的第二热能，并将第一热能和第二热能转换为电能后输出。
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公开(公告)号：CN112520688A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011269623.0
申请日：2020-11-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及一种纳米森林结构的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底表面涂覆聚合物层；对所述聚合物层进行至少一次S1和S2处理：S1、通过第一等离子体进行刻蚀，S2、通过第二等离子体进行重聚形成纳米森林结构。本发明采用特殊的干法刻蚀工艺制作纳米森林结构，通过改变刻蚀与重聚的工艺参数，或者通过改变刻蚀与重聚的循环次数，可以有效控制纳米森林结构的尺寸和密度，从而得到精确可控的纳米森林结构。该制备方法具有加工成本低、加工精度高、制备工艺简单的优点，具有广阔的应用前景。
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