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公开(公告)号：CN114839717B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202110145539.6
申请日：2021-02-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B6/122
Abstract: 本发明提供一种二维封闭式表面波光子晶体结构，包括第一金属板、第二金属板、金属柱及缺陷金属柱，第一金属板与第二金属板对应设置，金属柱呈二维周期性排列于第一金属板及第二金属板之间，且金属柱的相对两端分别与第一金属板及第二金属板相接触，以构成金属柱阵列；缺陷金属柱位于金属柱阵列中，且缺陷金属柱的高度小于周围的金属柱的高度。本发明在表面波光子晶体结构的基础之上，通过结合金属板，可集成包括表面波光子晶体结构及金属‑绝缘体‑金属结构的二维封闭式表面波光子晶体结构，以提供一种抗干扰性较强、集成度较高的二维封闭式表面波光子晶体结构。
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公开(公告)号：CN116314416A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310286503.9
申请日：2023-03-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/18 , H01L31/0304
Abstract: 本发明涉及一种适用于宽带量子阱探测器的宽带天线阵列耦合器，自上而下包括上电极层、GaAs有源区和下电极层；所述GaAs有源区分布有数个微腔阵列单元；所述微腔阵列单元的顶层为上金属电极(5)，所述上金属电极(5)两两之间通过微带线连接，形成上电极层；所述上金属电极(5)包括4个独立的且尺寸互不相同的微腔。本发明利用二维微纳结构和SPPs机理实现的THz QWP光耦合结构，使得THz QWP既能实现电压可调谐，又能实现阵列化宽带探测，具有更好的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN111262127B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202010079728.3
申请日：2020-02-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种硅基InGaAs激光器衬底的制备方法，包括：S1：在供体衬底上赝晶生长InxGa1‑xAs外延层薄膜；S2：外延层薄膜远离供体衬底的一面为注入面，自注入面向外延层进行离子注入和在注入面表面沉积第一金属层，注入的离子在外延层内形成剥离层；S3：在支撑衬底表面沉积第二金属层；S4：通过将第一金属层和第二金属层键合使得支撑衬底、第二金属层、第一金属层、外延层和供体衬底依次连接形成整体；S5：将键合后的整体进行退火处理，沿剥离层将供体衬底剥离，外延层转移至支撑衬底上形成硅基InGaAs衬底；本发明还提供一种衬底及激光器；本发明能够突破现有二元化合物晶格常数对激光器的限制，扩大生长在衬底上的激光器在材料选择和结构设计的自由度。
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公开(公告)号：CN112304431A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910686320.X
申请日：2019-07-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请实施例涉及太赫兹应用技术领域，采用本申请实施例公开的成像系统及成像方法，通过机械联动组件与光学组件配合传输光源发射的第一光信号实现对不可移动物体的逐点移动扫描，并基于光学组件反射带有待成像物体信息的第二光束，基于机械联动组件反馈待成像物体的位置信息，再通过数据采集处理模块接收第二光束和物体的位置信息，进行图像还原。
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公开(公告)号：CN109358001A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811251434.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置，该固定装置包括：第一夹具组件和第二夹具组件，其中第一夹具组件至少包括第一固定夹，第二夹具组件至少包括第二固定夹，第一固定夹和第二固定夹被设置为：分别夹持待测样品的第一端和第二端，第一固定夹和第二固定夹在第一水平方向上移动，以弯曲所述待测样品。此外，本发明还公开了一种包括太赫兹时域光谱仪和上述固定装置的测量系统以及一种测量方法，测量方法采用测量系统进行测量，包括步骤：采用固定装置将待测样品夹持固定，并根据需要调整待测样品弯曲度；采用太赫兹时域光谱仪的发射端发出太赫兹信号，采用太赫兹时域光谱仪的接收端接收穿透待测样品的太赫兹信号，并进行分析。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116136614B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202111356091.9
申请日：2021-11-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于二维封闭式光子晶体结构的二阶以上窄带通滤波器，包括：第一金属板、金属柱阵列及第二金属板，金属柱阵列包括周围金属柱及缺陷金属柱；周围金属柱呈行和列等间距排布；缺陷金属柱呈列排布；缺陷金属柱两侧均与周围金属柱相邻；缺陷金属柱与相邻的周围金属柱之间的间距与两相邻周围金属柱之间的间距相等；缺陷金属柱包括第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱，N≥2，且以第一缺陷金属柱至第N缺陷金属柱为缺陷金属柱周期依次呈列排布，相邻两个所述缺陷金属柱周期之间具有间隔，间隔为相邻两缺陷金属柱之间间距的两倍。可解决二阶以上带通滤波器频带宽，频带工作效率相差大且频带内振荡明显的问题。
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公开(公告)号：CN117091697A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202210516398.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/44
Abstract: 本发明提供一种用于量子阱探测器的宽带微腔阵列耦合结构及其制备方法，在该耦合结构中，多个微腔单元呈阵列状排布，且多个微腔单元的大小逐渐变化，每个微腔单元支持不同频段的电磁波，从而能够有效拓宽耦合频段，提高量子阱对光的吸收效率，降低器件的暗电流，提升器件的工作温度。另外，本发明采用标准的GaAs材料体系工艺，简单易操作，不会给器件制备增加额外的工艺难度。
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公开(公告)号：CN108917929A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810509364.0
申请日：2018-05-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹共焦显微成像系统，包括光源模块；数据采集模块；数据处理与图像还原模块；载物台模块，用于承载一待成像物体并其进行旋转和平移，以及将待成像物体的旋转平移二维信息发送至数据处理与图像还原模块；光路传输模块，用于将太赫兹光束沿一光路传输至数据采集模块，该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体；空间滤波模块，包括分别设于所述两个焦点处的针孔。本发明还提供其成像方法。本发明的成像系统避免了分束片的使用，减少了能量损耗，提高了成像信噪比，可以实现对隐匿物体的快速成像；此外，采用亚毫米针孔对太赫兹光束进行空间滤波，提高了成像的横向及纵向分辨率，最终可以得到物体的切片图像。
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公开(公告)号：CN107482109A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710529441.4
申请日：2017-07-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于石墨烯热电效应的室温太赫兹探测器及其制备方法，所述探测器包括硅衬底、位于硅衬底上的SiO2薄膜、位于SiO2薄膜上的石墨烯有效区以及天线；所述石墨烯有效区两端欧姆接触电极使用不同功函数不同热导率的金属材料。制备方法包括：1)氧等离子体刻蚀出器件的石墨烯有效区；2)湿法刻蚀SiO2薄膜，制作出背栅电极；3)显影石墨烯有效区沟道；4)电子束蒸发蒸镀漏源电极Au和Ti；5)退火。本发明的室温太赫兹探测器响应率和灵敏度高，制备工艺简单，成本低，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN105721085A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610082710.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H04B17/391
CPC classification number: H04B17/3912
Abstract: 本发明提供一种太赫兹室内通信信道的建模方法，能够用来准确地预测太赫兹波室内的传播特性和功率分布，其包括步骤：设置室内建模的仿真场景及其相关参数，包括房间尺寸、室内物品摆设位置和尺寸、墙面及各物体表面材料参数、太赫兹波频率等；确定太赫兹波发射机的位置和接收机的位置等参数；根据镜像对称法则，确定各条镜面反射光线的反射点，计算反射路径总长度，得到反射功率值；在镜面反射点周围均匀放置一系列的小方块作为散射点，计算散射路径总长度，得到散射功率值；根据室内场景确认是否有直接视距路径和衍射路径，若有则计算其功率值；汇总所有功率值，得到功率分布。本发明具有广泛适用性，算法简单，易于实现，预测精准。
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