公开(公告)号：CN107482109A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201710529441.4

申请日：2017-07-02

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 罗小青 ,  王长 ,  谭智勇 ,  曹俊诚

IPC: H01L35/30 ,  H01L35/32 ,  H01L35/14 ,  H01L35/34

CPC classification number: H01L35/30 ,  H01L35/14 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: 本发明涉及一种基于石墨烯热电效应的室温太赫兹探测器及其制备方法，所述探测器包括硅衬底、位于硅衬底上的SiO2薄膜、位于SiO2薄膜上的石墨烯有效区以及天线；所述石墨烯有效区两端欧姆接触电极使用不同功函数不同热导率的金属材料。制备方法包括：1)氧等离子体刻蚀出器件的石墨烯有效区；2)湿法刻蚀SiO2薄膜，制作出背栅电极；3)显影石墨烯有效区沟道；4)电子束蒸发蒸镀漏源电极Au和Ti；5)退火。本发明的室温太赫兹探测器响应率和灵敏度高，制备工艺简单，成本低，具有良好的应用前景。