微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质

    公开(公告)号:CN114137389B

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202111416559.9

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明提供一种微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质。该方法包括:采用校准后的矢量网络分析仪,在微波探针的探针尖端分别测量在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的S参数,得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的反射值;根据在片校准件的模型和定义值,得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的实际反射值;根据反射值和实际反射值,得到微波探针S参数;根据微波探针S参数计算得到微波探针S参数的相位。本发明能够准确得到四个S参数的相位,可以完整表征微波探针的微波特性,评定其S参数的不确定度,有助于评价微波探针的性能。

    微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质

    公开(公告)号:CN114137389A

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN202111416559.9

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明提供一种微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质。该方法包括:采用校准后的矢量网络分析仪,在微波探针的探针尖端分别测量在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的S参数,得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的反射值;根据在片校准件的模型和定义值,得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的实际反射值;根据反射值和实际反射值,得到微波探针S参数;根据微波探针S参数计算得到微波探针S参数的相位。本发明能够准确得到四个S参数的相位,可以完整表征微波探针的微波特性,评定其S参数的不确定度,有助于评价微波探针的性能。

    一种基于外接圆心的波导端口S参数校准方法及装置

    公开(公告)号:CN115219816A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210743221.2

    申请日:2022-06-27

    IPC分类号: G01R31/00

    摘要: 本发明提供一种基于外接圆心的波导端口S参数校准方法及装置。该方法包括:获取负载校准件第一反射系数。获取负载校准件在第一相位偏置下的第二反射系数。获取负载校准件在第二相位偏置下的第三反射系数。计算由第一反射系数、第二反射系数和第三反射系数在史密斯圆图中构成的三角形的外接圆圆心坐标,作为负载校准件修正后的反射系数。根据修正后的反射系数校准矢量网络分析仪波导端口的S参数。本发明能够通过负载校准件在不同相位偏置下的反射系数获得修正值,以修正值作为负载校准件实际反射系数为0时测得的反射系数,修正波导端口校准过程中由于负载校准件的反射系数不是理想的0带来的校准误差,得到更准确的波导端口S参数测量结果。

    一种低温波导噪声源
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115183863A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210635538.4

    申请日:2022-06-06

    IPC分类号: G01H17/00

    摘要: 本发明提供一种低温波导噪声源。该噪声源包括:矩形波导、匹配负载和控温装置;矩形波导包括依次连接的输入段、过渡段和输出段;匹配负载设在输入段的内部;输入段用于置于液氮内冷却匹配负载;过渡段的导热性低于输入段和输出段的导热性;控温装置设在输出段;控温装置用于控制输出段的输出端温度处于设定的温度。本发明能够通过控温装置控制输出端温度恒定;通过过渡段减少输入端和输出端的热传导,减少输入端对输出端温度的影响,确保稳定输出低反射系数热噪声。同时过渡段减少输出端的热量损耗,降低控温装置的功耗。另外,过渡段的隔热作用,可以减少输入端的热量增加,进而减少冷却输入端的液氮挥发,节省了液氮的用量。

    一种负载牵引测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN110174634B

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201910439443.3

    申请日:2019-05-24

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本发明公开了一种负载牵引测量系统及测量方法,测量系统包括矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器和负载端双定向耦合器;源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源,源端阻抗调配器的第二端连接源端双定向耦合器的第一端,源端双定向耦合器的第二端连接第一探针;负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源,负载端阻抗调配器的第二端连接负载端双定向耦合器的第一端,负载端双定向耦合器的第二端连接第二探针;源端双定向耦合器的第三端和第四端、负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口。本发明不受阻抗调配器机械重复性的影响,提高测试准确度。

    LRRM校准件的制备方法及LRRM校准件

    公开(公告)号:CN114137379B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202111284371.3

    申请日:2021-11-01

    IPC分类号: G01R31/26

    摘要: 本发明提供一种LRRM校准件的制备方法及LRRM校准件。该方法包括:LRRM校准件包括一个传输线、两个开路、两个短路以及两个负载,方法包括:获取衬底参数和衬底上设置的金属的参数,根据衬底参数和金属参数,得到传输线横截面尺寸;根据传输线横截面尺寸,确定开路、短路以及负载的横截面尺寸;根据传输线横截面尺寸、开路的横截面尺寸、短路的横截面尺寸以及负载的横截面尺寸进行半导体工艺加工,并对加工完成的校准件中的负载的电阻进行激光修阻;对修阻后的校准件中的传输线、反射和负载进行参数标定,得到LRRM校准件。本发明能够解决目前没有LRRM校准件的制备方法的问题。

    一种负载牵引测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN110174634A

    公开(公告)日:2019-08-27

    申请号:CN201910439443.3

    申请日:2019-05-24

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本发明公开了一种负载牵引测量系统及测量方法,测量系统包括矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器和负载端双定向耦合器;源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源,源端阻抗调配器的第二端连接源端双定向耦合器的第一端,源端双定向耦合器的第二端连接第一探针;负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源,负载端阻抗调配器的第二端连接负载端双定向耦合器的第一端,负载端双定向耦合器的第二端连接第二探针;源端双定向耦合器的第三端和第四端、负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口。本发明不受阻抗调配器机械重复性的影响,提高测试准确度。

    一种器件参数的测量方法、系统及终端设备

    公开(公告)号:CN110174633A

    公开(公告)日:2019-08-27

    申请号:CN201910439434.4

    申请日:2019-05-24

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本发明提供了器件参数的测量方法、系统及终端设备,方法包括:获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数,所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波;利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数,计算所述待测器件的参数。通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据,可以实时计算待测器件的参数,不受阻抗调配器机械重复性的影响,提高了待测器件的参数的测量准确度。

    太赫兹在片同轴验证及优化选择系统、方法及装置

    公开(公告)号:CN114252831A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111527176.9

    申请日:2021-12-14

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本申请适用于射频/微波/毫米波测试技术领域,提供了太赫兹在片同轴验证及优化选择系统、方法及装置,该太赫兹在片同轴验证及优化选择系统,包括:矢量网络分析仪、第一衰减器、第二衰减器、第一功率分配器和第二功率分配器;该太赫兹在片同轴验证及优化选择方法包括:通过太赫兹在片同轴验证及优化选择系统,对标准件进行同轴模拟验证,确定标准件的组合;基于16项误差模型,计算组合中标准件的测量值与真实值的偏差;根据偏差和被测件的测量值,得到被测件的真实值。本申请通过对标准件的选择,确定了合适的标准件组合,在使用标准件数最小的情况下,使用精度最高的校准标准组合,提高了校准的精确度,进一步提高了太赫兹在片测量的精准度。