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公开(公告)号：CN115266487B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202210671506.X
申请日：2022-06-14
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01N15/0227 , G01B11/24
Abstract: 本申请适用于微电子计量技术领域，提供了一种标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板。该方法包括：获取制备得到的标准样板的特征图像；其中，标准样板为刻蚀有多个镂空柱状结构的晶圆，特征图像包括镂空柱状结构对应的底面图像；在特征图像上建立直角坐标系，确定底面图像的轮廓点坐标，根据轮廓点坐标确定底面图像的圆心坐标与半径；选取特征图像上多个定值区域，根据各个定值区域内底面图像的数目与半径分别确定各个定值区域的平均半径，根据平均半径确定标准样板的标准粒径。本申请能够精准确定标准样板的标准粒径，以使标准样板可以用于晶圆表面颗粒度检测仪的有效校准。
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公开(公告)号：CN115219070A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210634102.3
申请日：2022-06-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供一种晶圆薄膜温度传感器的定标装置，包括：用于夹持待测晶圆和测定薄膜温度传感器的测试夹具以及用于密封测试夹具的外壳；其中，测试夹具包括：用于限位待测晶圆的底盘、与底盘配套设置的测试限位件；其中，底盘与测试限位件扣合设置并借助间隔设置的导向件、在底盘与测试限位件之间形成用于容置待测晶圆的测试空间；在测试限位件上还设置用于测定薄膜温度传感器的探针和配套的接线座；外壳包括：容置壳体和适于与容置壳体密封连接的上端盖，上端盖上设有与其一体连接的接线引出件，其中，容置壳体内适于放置测试夹具、上端盖与容置壳体密封连接并通过接线引出件引出与接线座连接的测试引线。本装置可以对薄膜温度传感器准确的定标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115077446A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210513113.6
申请日：2022-05-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供一种台阶仪的调校方法，包括：选取多种不同预设高度的台阶高度样板；使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板，并得到每种台阶高度样板的修正因子；基于每种台阶高度样板的修正因子，确定待校准的台阶仪的最终修正因子；将最终修正因子输入至待校准的台阶仪的测量软件中，即可对待校准的台阶仪进行调校。通过采用待校准的台阶仪测试多个不同高度的台阶高度样板，得到多个修正因子，然后通过多个修正因子得到最终的修正因子，从而保证修正因子的可靠性。
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公开(公告)号：CN119238219A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411348058.5
申请日：2024-09-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种晶圆薄膜应力调校器及其制备方法，属于微电子计量技术领域，所述方法包括：根据公式(1)计算生长薄膜的曲率半径RB；选择玻璃作为生长衬底，根据计算的曲率半径RB进行粗磨、精磨及抛光，获得上表面曲率半径为RB的衬底；在衬底的上表面镀膜，获得曲率半径为RB的应力调校器；公式(1)中，σfilm为预设在衬底上生长的薄膜应力值；Δ为常数；RA为理想状态下生长的薄膜的曲率半径值，理想状态下薄膜为水平面，因此RA为无限大；RB为实际生长薄膜的曲率半径。本发明制备的晶圆薄膜应力调校器，能够对薄膜测试仪进行精准调校，保证测试仪测试结果的准确性。
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公开(公告)号：CN115266488A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210673195.0
申请日：2022-06-14
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供一种晶圆表面颗粒度标准样片的制备方法及标准样片。该方法包括基于已确定尺寸的晶圆片，制作颗粒度标准样板结构图；所述颗粒度标准样板结构图中包括多个不同尺寸的圆柱阵列；按照所述颗粒度标准样板结构图制作目标掩模板，并利用光刻工艺，将所述目标掩模板上的图形转移到所述晶圆片上，得到目标晶圆片；采用刻蚀工艺对所述目标晶圆片进行刻蚀，得到晶圆表面颗粒度标准样片。本发明能够提高晶圆表面颗粒度标准样片的使用寿命。
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公开(公告)号：CN115266487A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210671506.X
申请日：2022-06-14
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于微电子计量技术领域，提供了一种标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板。该方法包括：获取制备得到的标准样板的特征图像；其中，标准样板为刻蚀有多个镂空柱状结构的晶圆，特征图像包括镂空柱状结构对应的底面图像；在特征图像上建立直角坐标系，确定底面图像的轮廓点坐标，根据轮廓点坐标确定底面图像的圆心坐标与半径；选取特征图像上多个定值区域，根据各个定值区域内底面图像的数目与半径分别确定各个定值区域的平均半径，根据平均半径确定标准样板的标准粒径。本申请能够精准确定标准样板的标准粒径，以使标准样板可以用于晶圆表面颗粒度检测仪的有效校准。
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公开(公告)号：CN115219391A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210630696.0
申请日：2022-06-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于微电子计量测试技术领域，提供了一种晶圆表面颗粒度检测仪调校方法、装置及终端设备。该方法包括：获取标准颗粒样板中颗粒的颗粒数据与标准颗粒数目；根据标准颗粒数目与颗粒数据，确定标准颗粒对应的投影面积范围；根据投影面积范围确定标准颗粒对应的标准投影面积；获取不同标准颗粒粒径的标准颗粒样板中颗粒的颗粒数据与标准颗粒数目，并重复上述步骤，根据得到的不同标准颗粒粒径下的标准投影面积，确定粒径‑投影面积关系，以使根据粒径‑投影面积关系对被校检测仪的相关参数进行调校。本申请能够及时有效地对晶圆表面颗粒度检测仪进行精度调校，提高晶圆表面颗粒度检测仪的检测精度。
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