L型连接梁声发射器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN114890374B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202210525263.9

    申请日:2022-05-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种L型连接梁声发射器件及其制备方法。该声发射器件由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层,第n层介质层上刻蚀有矩形空腔,空腔顶部形成矩形振膜、L型连接梁及上电极,空腔底部形成下电极。制备时,使用COMS工艺的后端(BEOL)层作为MEMS器件的结构层,COMS电子层在MEMS器件层下方集成,各金属层间通过钨塞互连,最后通过刻蚀形成矩形空腔、矩形振膜及L型连接梁。本发明L型连接梁声发射器件具有可靠性好、体积小、灵敏度高、制造成本低、易于批量生产等优点。

    MEMS同振型三维组合水听器

    公开(公告)号:CN115265754B

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202211028088.9

    申请日:2022-08-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器,属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱,圆球状封装舱内设有控制电路板,控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风,控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆,圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道,大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积,增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。

    一种基于MEMS传感器的榫卯式心音探头

    公开(公告)号:CN110693519B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN201911097396.5

    申请日:2019-11-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 一种基于MEMS传感器的榫卯式心音探头,属于医疗器械技术领域,解决心音探头由于检测到的心音信号弱、极易受外部环境干扰的技术问题。解决方案为:榫卯式心音探头通过燕尾与燕尾槽使得探测头、连接体、探头底座、防护胶圈、负压囊连接扣件和负压囊依次连接,通过榫卯式结构设计,将心音检测探头模块化分解,再微结构一体化集成,极大的缩小了探头的体积,同时降低了工艺制作难度,在增强了仿生学“纤毛”传感器芯片检测的灵敏性的同时,又极大的降低了环境噪声对其的影响,提高了其信噪比。

    流量检测器及流量检测方法

    公开(公告)号:CN112362120B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202011243030.7

    申请日:2020-11-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种流量检测器及流量检测方法,流量检测器,包括两个面阵子探头和控制模块,两个面阵子探头可以分别作为超声波的发射端和接收端;控制模块至少包括两个收发控制电路以及计算控制子模块;计算控制子模块通过一个收发控制电路控制对应的一个面阵子探头发射超声波信号;当另一个面阵子探头接收到超声波信号后,通过另一个收发控制电路将接收到超声波信号的信息反馈给计算控制子模块进行计算处理。本发明利用面阵探头上不同行的阵元分别检测流体的横截面中不同分层的流量信息以求平均值的方式得到被测流体的整体流量信息,这种检测结果更接近流体的真实情况,可以大大降低流量检测的误差。

    基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器

    公开(公告)号:CN112957066B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202110182398.5

    申请日:2021-02-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器,属于生物医疗器件技术领域。该电子听诊器包括由三角支撑架、支撑柱、紧固螺栓、滑块、连接杆、支撑板、支撑杆组成的支撑螺纹连接体,由椭圆形壳体、盖体和感应薄膜组成的心音探头壳体以及设置于心音探头壳体内的MEMS声传感器微结构。本发明电子听诊器设计科学,结构合理,体积小巧美观,成本低廉,加工简单易于批量生产,使用操作方便稳定,检测灵敏度高,抗干扰能力强、信噪比高、可靠性高、带宽高、检测效果好,值得推广使用。

    一种全指向型水听器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115900926A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202310046717.9

    申请日:2023-01-31

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种全指向型水听器,包括水听器敏感探头、数据采集模块、数据存储模块和电源管理模块,水听器敏感探头包括球形封装外壳、环形PCB板、前级信号处理电路和双向微机械超声波换能器,双向微机械超声波换能器包括衬底,衬底的顶面和底面上设有对称设置的绝缘层、下电极层、器件层、真空腔体和上电极层。本发明全指向型水听器设计科学,结构合理,使用效果好,实现了在水听器所在的平面360度范围内对声压信号具有同样敏感性的目的。

Patent Agency Ranking