一种MEMS尾流探测传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114838806A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210357558.X

    申请日:2022-04-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于尾流探测技术领域,具体为一种MEMS尾流探测传感器,解决了背景技术中的技术问题,其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体;仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接;仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔;保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体,保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合,组合成了能够测量湍流尾流的传感器,仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率,同时降低了海水冲击的影响,提高了传感器探测尾流信号的准确性。

    MEMS同振型三维组合水听器

    公开(公告)号:CN115265754B

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202211028088.9

    申请日:2022-08-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器,属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱,圆球状封装舱内设有控制电路板,控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风,控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆,圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道,大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积,增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。

    一种MEMS尾流探测传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114838806B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202210357558.X

    申请日:2022-04-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于尾流探测技术领域,具体为一种MEMS尾流探测传感器,解决了背景技术中的技术问题,其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体;仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接;仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔;保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体,保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合,组合成了能够测量湍流尾流的传感器,仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率,同时降低了海水冲击的影响,提高了传感器探测尾流信号的准确性。

    MEMS同振型三维组合水听器

    公开(公告)号:CN115265754A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202211028088.9

    申请日:2022-08-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器,属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱,圆球状封装舱内设有控制电路板,控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风,控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆,圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道,大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积,增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。

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