公开(公告)号：CN119290243A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411418441.3

申请日：2024-10-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 何常德 ,  杨玉华 ,  张文栋 ,  薛鹏飞 ,  张金亮 ,  张国军 ,  王红亮 ,  王任鑫 ,  崔建功 ,  贾利成 ,  孙帅文 ,  吴帅琦

IPC: G01L9/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种微型电容式压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，该传感器由上至下依次包括：上电极金属层、单晶硅薄膜层、真空腔体、二氧化硅绝缘层、单晶硅衬底、下电极金属层；其中，真空腔体为单晶硅薄膜层与二氧化硅绝缘层键合在一起形成的凹弧形密闭空腔；该结构极大的提高了微型电容式压力传感器的线性度和灵敏度。