公开(公告)号：CN114804008A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210525264.3

申请日：2022-05-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  张文栋 ,  李照东 ,  张国军 ,  穆罕默德·伊尔马兹 ,  埃汉·博兹库尔特 ,  张赛 ,  杨玉华 ,  何常德 ,  崔建功

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明为一种单晶硅振膜的MEMS电容式声传感器结构，属于超声换能器技术领域。本发明包括自上而下叠层设置的振膜层、环状支撑壁层和衬底层，振膜层形成有若干个呈阵列排布的振膜，振膜层和衬底层之间的环状支撑壁层上形成有若干个呈阵列排布的空腔，空腔与振膜相互对应；振膜上均布设置有若干通孔，衬底层的顶面上形成有延伸孔；振膜层、通孔、衬底层、延伸孔上均形成有绝缘层；振膜层上设置有上电极层，衬底层底面设置有下电极层。本发明电容式声传感器结构整体尺寸小，便于后续的封装和使用；本发明电容式声传感器结构制备方法简单，整体工艺流程少，制造成本低，便于后续的批量生产。

公开(公告)号：CN114871083B

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202210559051.2

申请日：2022-05-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  张文栋 ,  秦芸 ,  王智豪 ,  张国军 ,  杨玉华 ,  何常德 ,  崔建功 ,  张赛 ,  穆罕默德·伊尔马兹 ,  埃汉·博兹库尔特

IPC: B06B1/02

Abstract: 本发明公开了一种电容式微机械超声换能器柔性柱面阵，属于MEMS技术领域。该柱面阵由多个相同的曲面阵对接拼装而成，单个曲面阵主要由叠置的模具、柔性PCB板和CMUT晶圆组成，CMUT晶圆划割形成多条线阵，线阵之间填充PDMS，CMUT晶圆顶面设置有金属上电极、底面设置有金属下电极。本发明柔性柱面阵具有高密度、高一致性的优点，能够包围在乳腺四周进行筛查，可在孔径为20cm的CMUT柱面阵空间内实现对乳腺组织的检测，在超声成像领域将具有很好的成本和性能优势。

公开(公告)号：CN114871083A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210559051.2

申请日：2022-05-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  张文栋 ,  秦芸 ,  王智豪 ,  张国军 ,  杨玉华 ,  何常德 ,  崔建功 ,  张赛 ,  穆罕默德·伊尔马兹 ,  埃汉·博兹库尔特

IPC: B06B1/02

Abstract: 本发明公开了一种电容式微机械超声换能器柔性柱面阵，属于MEMS技术领域。该柱面阵由多个相同的曲面阵对接拼装而成，单个曲面阵主要由叠置的模具、柔性PCB板和CMUT晶圆组成，CMUT晶圆划割形成多条线阵，线阵之间填充PDMS，CMUT晶圆顶面设置有金属上电极、底面设置有金属下电极。本发明柔性柱面阵具有高密度、高一致性的优点，能够包围在乳腺四周进行筛查，可在孔径为20cm的CMUT柱面阵空间内实现对乳腺组织的检测，在超声成像领域将具有很好的成本和性能优势。