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公开(公告)号：CN103930843B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280056275.6
申请日：2012-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
Abstract: 本发明提供一种温度控制系统(1)，其中，该温度控制系统(1)包括：第1调温单元，其用于贮藏第1温度的液体；第2调温单元，其用于贮藏比第1温度高的第2温度的液体；低温流路(76)，其供来自第1调温单元的流体流动；高温流路(77)，其供来自第2调温单元的流体流动；旁路流路(73)，其用于使流体循环；结合流路(71)，其供在合流部(PA)处使来自低温流路、高温流路以及旁路流路这三个流路的流体合流后的流体流动；调温部(70)，其供来自结合流路的流体流动，对在半导体制造装置(100)中使用的构件进行冷却或加热；以及控制装置(90)，其用于控制在合流部的上游侧安装于上述三个流路的可变阀门(79)的阀开度，而调整上述三个流路的流量分配比例。
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公开(公告)号：CN103930843A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280056275.6
申请日：2012-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
Abstract: 本发明提供一种温度控制系统(1)，其中，该温度控制系统(1)包括：第1调温单元，其用于贮藏第1温度的液体；第2调温单元，其用于贮藏比第1温度高的第2温度的液体；低温流路(76)，其供来自第1调温单元的流体流动；高温流路(77)，其供来自第2调温单元的流体流动；旁路流路(73)，其用于使流体循环；结合流路(71)，其供在合流部(PA)处使来自低温流路、高温流路以及旁路流路这三个流路的流体合流后的流体流动；调温部(70)，其供来自结合流路的流体流动，对在半导体制造装置(100)中使用的构件进行冷却或加热；以及控制装置(90)，其用于控制在合流部的上游侧安装于上述三个流路的可变阀门(79)的阀开度，而调整上述三个流路的流量分配比例。
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公开(公告)号：CN109642812B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201880002629.6
申请日：2018-06-13
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 一种流量计(1)，设有架设了用于测量流量的传感器片(21)的传感器流路(16)，此外还设有与传感器流路(16)相对应的作为旁路流路的节流孔流路(13)，其中，使节流孔流路(13)的流路直径(C)比流入流路(12)的流路直径(A)小，在传感器流路(16)的入口侧配置分流节流孔(30)，节流孔流路(13)和分流节流孔(30)构成为：在纵轴取为有效截面积、横轴取为流体的流体压力时，有效截面积的变化倾向相同。
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公开(公告)号：CN104696569B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201410730209.3
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。
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公开(公告)号：CN104696299B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201410730207.4
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F15B13/02 , F16K1/00 , F16K31/122
Abstract: 本发明的目的是将装置结构良好地小型化或集成化。本发明的配管接头中设置有主体部、第一开口部、第二开口部以及一对螺丝插入孔。主体部是大体长方体状的部件，并具有接合面(以高度方向作为法线并与安装对象接合的平面)。第一开口部在接合面开口。第二开口部在主体部的长度方向上的一侧端部开口。一对螺丝插入孔在第一开口部的两侧，被设置在主体部的长度方向上的一侧端部侧和另一侧端部侧。从第一开口部穿过第二开口部的流体通路被设置为绕过螺丝插入孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104696569A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410730209.3
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K27/00
CPC classification number: F16K27/00 , F16K31/1225 , H01L21/02
Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。
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公开(公告)号：CN104699128B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201410737793.5
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D7/00
Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向，也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。
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公开(公告)号：CN104696299A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410730207.4
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F15B13/02 , F16K1/00 , F16K31/122
CPC classification number: F16K27/00 , F16K31/1225 , H01L21/02
Abstract: 本发明的目的是将装置结构良好地小型化或集成化。本发明的配管接头中设置有主体部、第一开口部、第二开口部以及一对螺丝插入孔。主体部是大体长方体状的部件，并具有接合面(以高度方向作为法线并与安装对象接合的平面)。第一开口部在接合面开口。第二开口部在主体部的长度方向上的一侧端部开口。一对螺丝插入孔在第一开口部的两侧，被设置在主体部的长度方向上的一侧端部侧和另一侧端部侧。从第一开口部穿过第二开口部的流体通路被设置为绕过螺丝插入孔。
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公开(公告)号：CN104919547B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201480004913.9
申请日：2014-07-29
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: H01F5/06 , F16K31/0675 , F16K49/00 , H01F5/00 , H01F7/08 , H01F27/08 , H01F41/064 , H01F41/125 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1287 , Y10T29/49073 , Y10T137/6416
Abstract: 一种电磁线圈，包括：导体线圈12a，由在预定轴线的周围缠绕多圈导体12b而形成；和陶瓷层12c，通过热喷涂形成在导体线圈12a中的预定轴线方向的端面上且表面进行平坦化。陶瓷层12c的厚度的最大值t12设定为在预定轴线方向的端面上由多个导体12b形成的高低差的最大值t11的3倍以下。
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公开(公告)号：CN104699128A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410737793.5
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D7/00
Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向，也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。
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