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公开(公告)号：CN103959048B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201280056289.8
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , G01N23/046 , G01N2223/31 , G01N2223/419 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025 , Y10T29/49616
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的X射线装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的X射线进行检测。该X射线装置设有射出X射线的X射线源；设有保持物体的载台；设有检测装置对从X射线源射出、并穿透物体的X射线其至少一部分进行检测；设有形成内部空间的腔室部件，其内部可配置X射线源、载台、及检测装置；设有隔离部，将内部空间分隔为可配置X射线源的第一空间，和可配置检测装置的第二空间。
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公开(公告)号：CN103975232B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201280054993.X
申请日：2012-10-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 渡部贵志
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1204 , H01J2235/1216 , H01J2235/1262 , H05G1/025
Abstract: 本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的透射X射线进行检测。该装置设有形成第一空间的腔室部件；设有第一供给口，配置于第一空间，用以向对物体照射X射线的X射线源其至少一部分供给温度调整后的气体。
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公开(公告)号：CN106887373A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710058109.4
申请日：2014-03-12
Applicant: 尼康计量公众有限公司
Inventor： R·哈德兰德
CPC classification number: H01J35/025 , F16C33/768 , F16C35/042 , F16J15/16 , H01J29/48 , H01J35/04 , H01J35/06 , H01J35/101 , H01J35/106 , H01J35/108 , H01J35/16 , H01J37/065 , H01J2235/0236 , H01J2235/083 , H01J2235/086 , H01J2235/087 , H01J2235/1046 , H01J2235/1204 , H01J2235/1262 , H01J2235/20 , H01J2237/2482 , H02M1/32 , H02M7/106 , H05G1/12
Abstract: 本发明涉及x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件。具体地，一种用于旋转轴的旋转真空密封件，所述密封件包括：孔，所述孔用于容纳所述轴并且在高压强端部和低压强端部中的每一个端部处具有端子孔口；腔室，所述腔室在介于所述高压强端部与所述低压强端部之间的位置处围绕所述孔并且周向地邻接所述孔；以及流动路径，所述流动路径从所述腔室延伸至适合于连接至真空泵的端口，其中，所述孔和所述轴的尺寸被设定为：使得在所述腔室中维持的1毫巴的压强以及在所述低压强端部处维持的10‑5毫巴的压强导致所述腔室与所述低压强端部之间的氮的质量流率小于10‑3毫巴l/s。
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公开(公告)号：CN105027254B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380071779.X
申请日：2013-11-05
Applicant: 双叶电子工业株式会社 , 浜松光子学株式会社
Abstract: X射线照射源(2)中，X射线管(21)的筐体(51b)与包含产生施加于灯丝(52)的负的高电压的高压产生模块(22)的电源部的高电压区域(VH)相对地配置。通过这样的结构，可抑制在相对壁部(51b)产生电场，从而抑制了碱离子自玻璃析出。因此，可抑制灯丝(52)、或栅极(53)、靶(54)等的不同的电位的电极间的电位关系的变化，可防止无法保持所期望的X射线量等的不良状况的发生，因而可维持稳定的动作。(51)的壁部中，由包含碱的玻璃形成的相对壁部
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公开(公告)号：CN104067367B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280067869.7
申请日：2012-01-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01N23/04 , H01J35/02 , H01J35/08 , H01J2235/084 , H01J2235/087
Abstract: 提供了一种放射线发射靶和放射线产生设备，其通过保持层状放射线靶的稳定粘合降低了由于操作和温度历史导致的输出变化，并且实现了稳定放射线发射特性。放射线靶包括支撑基板、当被电子束照射时发射放射线的靶层以及位于支撑基板和靶层之间的中间层。中间层具有1μm或更小的厚度，并且包含钛作为主要成分。钛的至少一部分在400℃或更低显现β相。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103765546B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201280041540.3
申请日：2012-08-08
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/08 , G01N23/04 , H01J35/18 , H01J2235/087 , H01J2235/088 , H01J2235/186
Abstract: 在根据本发明的靶结构（100）中，靶（102）被设置在绝缘基板（101）的中心区域上，并且，用于向靶供给电压的第一导电部件（103a）被设置在绝缘基板的周边区域上，该周边区域不包括与靶重叠的区域并且不被靶覆盖，使得第一导电部件与靶的周边部分接触并电连接。因此，能够在抑制不必要的X射线的发射的同时在不妨碍在靶中产生的热向基板扩散的情况下容易形成对于靶的电压供给线。
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公开(公告)号：CN102792782B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201180010438.2
申请日：2011-02-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J35/08 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J2235/068 , H01J2235/087 , H01J2235/163 , H01J2235/166 , H01J2235/168 , H01J2235/186
Abstract: 放射线产生装置包括从电子发射源侧依次设置的第二屏蔽部件、靶子和第一屏蔽部件。从靶子的最大放射强度部分到第一屏蔽部件的最短距离比从靶子的最大放射强度部分到第二屏蔽部件的最短距离短。
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公开(公告)号：CN102013378B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201010274998.6
申请日：2010-09-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J35/12 , H01J2235/081 , H01J2235/083 , H01J2235/087 , H01J2235/1204 , H01J2235/1291
Abstract: 本发明涉及X射线产生用靶、X射线产生装置以及X射线产生用靶的制造方法。X射线产生用靶具备基板和靶部。基板由金刚石构成，具有相互相对的第1主面和第2主面。基板上从第1主面侧形成具有底面状的孔部。靶部由从孔部的底面朝向第1主面侧堆积的金属构成。靶部的外侧面整体与孔部的内侧面紧贴。
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公开(公告)号：CN104798171A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380059789.1
申请日：2013-10-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J35/08
CPC classification number: H01J35/08 , C23C16/06 , G01N23/04 , H01J35/32 , H01J2235/081 , H01J2235/087
Abstract: 本发明涉及具有金刚石基材作为透射基材的透射型靶。该透射型靶能够抑制组成随透射型靶的驱动经历而变动并且能够长期抑制放射线的输出变动。该透射型靶包括：靶层，该靶层含有由选自钼、钽和钨中的至少一种金属和碳构成的金属碳化物；和支持该靶层的金刚石基材。
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公开(公告)号：CN104470178A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310427203.4
申请日：2013-09-18
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
CPC classification number: H01J35/045 , G01N23/046 , H01J35/06 , H01J35/065 , H01J35/10 , H01J35/14 , H01J35/16 , H01J2235/087
Abstract: 本发明的X射线装置具备：真空盒，四周密封且内部为高真空；多个电子发射单元，每个电子发射单元互相独立且排成线形阵列安装在真空盒的一端的盒壁上；阳极，安装在真空盒内的另一端，在长度方向上与电子发射单元的栅极所在的平面平行且在宽度方向上与该平面形成预定角度的夹角；电源与控制系统，具有高压电源、灯丝电源、栅极控制装置及控制系统，电子发射单元具有：加热灯丝；与加热灯丝连接的阴极；从加热灯丝两端引出的灯丝引线；栅极，与阴极对置地配置在阴极的上方；具有开口且包围阴极与灯丝的绝缘支撑件；连接在绝缘支撑件下端外沿的连接固定件；灯丝电源与灯丝引线连接。
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