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公开(公告)号：CN1754629A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510097673.4
申请日：2005-08-31
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。
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公开(公告)号：CN100505204C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200510137331.0
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/68
Abstract: 提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单元(2)工作以使支持部件(3)下降，基板(W)和对准部件(5)的滑动部件(6)处于同一水平，通过切换阀，浮起部件(8)的配管(12)与压缩空气源连接，从浮起部件(8)的接受部分(11)上面的槽(16、17)喷出空气，基板(W)从接受部分(11)的上面浮起，使对准部件(5)的滑动部件(6)前进，推杆(7)与基板(W)的边缘接触以进行定位。
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公开(公告)号：CN1815707A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510104739.8
申请日：2005-12-16
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种不会在基板上留下因温度不均而引起的销痕迹的支承销。基板支承销(20)的尖端部(22)可更换地安装在本体部(21)上，尖端部(22)的上表面形成球面状。而且，尖端部(22)由塑料烧结多孔质体形成，其气孔率为20％～60％。因此，在销尖端部不会积累热量，和基板的接触部就不会产生温度差。
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公开(公告)号：CN1812073A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200510137331.0
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/68
Abstract: 提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单元(2)工作以使支持部件(3)下降，基板(W)和对准部件(5)的滑动部件(6)处于同一水平，通过切换阀，浮起部件(8)的配管(12)与压缩空气源连接，从浮起部件(8)的接受部分(11)上面的槽(16、17)喷出空气，基板(W)从接受部分(11)的上面浮起，使对准部件(5)的滑动部件(6)前进，推杆(7)与基板(W)的边缘接触以进行定位。
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公开(公告)号：CN1701860A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510081789.9
申请日：2005-05-20
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转，淋洗嘴向加注辊表面供给循环液，再用涂刷器刮落，潜入储存的洗涤液中，用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后，用新液淋洗嘴冲洗干净，在新液淋洗嘴的上方，从干燥气体喷嘴中吹出干燥气体，吹开洗涤液，使加注辊的表面干燥。因这时也进行排气，排气也能促进干燥。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100537050C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200510003475.7
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。
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公开(公告)号：CN100500303C
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200510081789.9
申请日：2005-05-20
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转，淋洗嘴向加注辊表面供给循环液，再用涂刷器刮落，潜入储存的洗涤液中，用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后，用新液淋洗嘴冲洗干净，在新液淋洗嘴的上方，从干燥气体喷嘴中吹出干燥气体，吹开洗涤液，使加注辊的表面干燥。因这时也进行排气，排气也能促进干燥。
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公开(公告)号：CN100553797C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200510097673.4
申请日：2005-08-31
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。
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公开(公告)号：CN1799706A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510003475.7
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。
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公开(公告)号：CN101145536A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710146097.7
申请日：2007-09-10
Applicant: 东京应化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/673 , B23Q3/08 , B25B11/00
Abstract: 本发明提供一种可以可靠且短时间地检测出基板是否被真空吸附的真空吸附装置。一旦有一部分没有被真空吸附的位置，则在该处，基板W会从基板载置台5的上表面多少有些浮起。而且基板W一旦浮起，则通过该处或者其附近各处呈开口的真空检测孔(8)而检测出的压力也就会因为从外部进入了空气而变高。因此，在所设置的多个压力传感器11全部都感知到真空时，就可以判断为基板W被可靠地吸附在基板载置台5的上表面上。
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