公开(公告)号：CN1754629A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510097673.4

申请日：2005-08-31

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 楫间淳生 ,  山口和伸 ,  高濑真治 ,  谷本恒夫 ,  木山孝志

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02

Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。

公开(公告)号：CN100553797C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200510097673.4

申请日：2005-08-31

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 楫间淳生 ,  山口和伸 ,  高濑真治 ,  谷本恒夫 ,  木山孝志

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02

Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。