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公开(公告)号：CN1714944A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510081041.9
申请日：2005-06-28
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够有效地防止涂敷液的飞散的旋转杯式涂敷装置。在内杯体(3)上固定有托盘(7)，从该托盘(7)的各角部导出有排液引导管(10)。排液引导管(10)以前部(11)朝向前述排液回收通路(3a)的底部的方式朝外侧向斜下方倾斜。并且，前部(11)的下端(11a)比内杯体(3)的底面(3b)低。因此，当供给到板状被处理物(W)的表面上的涂敷液通过托盘(7)与内杯体(3)的一体旋转而在离心力的作用下通过形成于遮檐状壁部(9)上的孔、排液引导管(10)内的流路以及排液引导管(10)的前部(11)被排出时，不会直接冲撞到内杯体3的内周壁上。
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公开(公告)号：CN100537050C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200510003475.7
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1799706A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510003475.7
申请日：2005-11-29
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。
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公开(公告)号：CN1714945A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510081770.4
申请日：2005-06-14
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供即使内杯大直径化也能简单地调整旋转平衡的旋转涂敷装置。在内杯用盖体(14)的上表面上用小螺丝(18)固定有爪部件(17)。另一方面，在内杯(13)的外周面上，在对应上述爪部件(17)的位置上安装有爪承接部件(20)。爪承接部件(20)由卡合部(21)和平衡重插装部(22)构成，在卡合部(21)上形成有嵌入凹锥状的凹部(19)的凸锥状的凸部(23)，在平衡重插装部(22)上形成有插入平衡重(24)的孔(25)。
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公开(公告)号：CN100496766C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200510081770.4
申请日：2005-06-14
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 本发明提供即使内杯大直径化也能简单地调整旋转平衡的旋转涂敷装置。在内杯用盖体(14)的上表面上用小螺丝(18)固定有爪部件(17)。另一方面，在内杯(13)的外周面上，在对应上述爪部件(17)的位置上安装有爪承接部件(20)。爪承接部件(20)由卡合部(21)和平衡重插装部(22)构成，在卡合部(21)上形成有嵌入凹锥状的凹部(19)的凸锥状的凸部(23)，在平衡重插装部(22)上形成有插入平衡重(24)的孔(25)。
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公开(公告)号：CN100481371C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200510124975.6
申请日：2005-10-04
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/687 , G02F1/13 , G03F7/26
Abstract: 提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载台。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置，配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位置上，另外还配置在大型基板截取为2个时的裁断预定线L2相重叠的位置上。另一方面，在上述支持板(2)中形成的通孔(4)中插入可动销(5)，各个可动销(5)配置在与大型基板进行进一步截取的裁断预定线L3、L4相重叠的位置上。然后将横方向的可动销(5)共同地安装在支持板(2)下方的连结板(6)上，通过驱动压力缸组件(8)使横方向的可动销(5)同时升降。
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公开(公告)号：CN1790660A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510124975.6
申请日：2005-10-04
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/687 , G02F1/13 , G03F7/26
Abstract: 提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载台。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置，配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位置上，另外还配置在大型基板截取为2个时的裁断预定线L2相重叠的位置上。另一方面，在上述支持板(2)中形成的通孔(4)中插入可动销(5)，各个可动销(5)配置在与大型基板进行进一步截取的裁断预定线L3、L4相重叠的位置上。然后将横方向的可动销(5)共同地安装在支持板(2)下方的连结板(6)上，通过驱动压力缸组件(8)使横方向的可动销(5)同时升降。
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