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发明公开
旋转杯式涂敷装置无效复审申请

公开(公告)号：CN1714944A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510081041.9

申请日：2005-06-28

Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社

Inventor： 山口和伸 , 佐保田勉 , 升芳明 , 山本夕记

IPC: B05C11/08 , G03F7/16

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够有效地防止涂敷液的飞散的旋转杯式涂敷装置。在内杯体(3)上固定有托盘(7)，从该托盘(7)的各角部导出有排液引导管(10)。排液引导管(10)以前部(11)朝向前述排液回收通路(3a)的底部的方式朝外侧向斜下方倾斜。并且，前部(11)的下端(11a)比内杯体(3)的底面(3b)低。因此，当供给到板状被处理物(W)的表面上的涂敷液通过托盘(7)与内杯体(3)的一体旋转而在离心力的作用下通过形成于遮檐状壁部(9)上的孔、排液引导管(10)内的流路以及排液引导管(10)的前部(11)被排出时，不会直接冲撞到内杯体3的内周壁上。

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