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公开(公告)号：CN119355914A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411790023.7
申请日：2024-12-06
Abstract: 本发明提供一种适用于超高真空低应力反射镜的夹持装置，涉及精密光机设备技术领域。本发明所提供的一种适用于超高真空低应力反射镜的夹持装置，包括反射镜基座、顶部压紧组件和多个底部支撑组件；反射镜基座的顶部设有反射镜开槽，反射镜开槽中适于放置反射镜，反射镜基座的底部设有多个支撑组件开槽，每个支撑组件开槽均与反射镜开槽相连通；每个支撑组件开槽中均设有一个底部支撑组件。本发明的夹持方式能够保证反射镜受到较小的夹持应力；另一方面，反射镜底部和反射镜凹槽底部之间还设有用于导热的导热片，导热片的上下表现分别接触反射镜底部和反射镜开槽底部，能够增大反射镜底部的导热接触面积，从而加强了反射镜的导热能力。
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公开(公告)号：CN118331131A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410461803.0
申请日：2024-04-17
Applicant: 上海科技大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了主动振动控制技术领域的一种基于质量阻尼器的角度主动控制系统，包括被控结构；设置在被控结构上的角度振动传感器，角度振动传感器能够检测被控结构的角度振动信息；设置在被控结构上的质量阻尼器；设置在质量阻尼器的质量块上的内部振动传感器，内部振动传感器能够检测质量块在控制方向上的线性振动信息；控制器，控制器与角度振动传感器、内部振动传感器和质量阻尼器电信号连接，且控制器能够根据接收的角度振动信息和线性振动信息向质量阻尼器输出用于控制质量阻尼器动作的驱动信号。本发明采用内部速度反馈的方法，通过提高外部速度反馈的增益裕度和减少质量阻尼器在固有频率附近的振动放大实现主动质量阻尼减振效果的提高。
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公开(公告)号：CN118112742A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410360708.1
申请日：2024-03-27
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了涉及精密光机设备技术领域的一种适用于高热负载的高稳定性反射镜调节装置，包括隔振底座、反射镜主体、反射镜支撑板、辅助驱动组件、反射镜冷却组件、冷却片支撑板和同步传动机构，辅助驱动组件和同步传动机安装在隔振底座上，同步传动机构的反射镜驱动支撑端组件和冷却片驱动支撑端组件能够实现反射镜主体和冷却片的同步升降，反射镜主体上沿长度方向开设有冷却槽并填充有导热液体，冷却片通过冷却片支撑板悬置在冷却槽内并与导热液体接触，实现了冷却系统与反射镜主体的振动解耦。本发明利用导热液体和同步传递组件，确保冷却系统在正常运行时减少对反射镜主体的振动干扰，从而提高整个反射镜系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN117075283A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310868890.7
申请日：2023-07-14
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明涉及一种高光通量和高稳定性的单色器晶体冷却结构，作为同步辐射装置的单色器晶体的两侧对称贴合相同的无氧铜冷却块，所述无氧铜冷却块内依据单色器晶体的温度分布排布自上而下逐渐减少的冷却管道。无氧铜冷却块配置克制内部液氮流动产生振动的配重块。通过经过优化单色器晶体的冷却结构，有效控制单色器晶体的光学表面的热变形程度，提升了单色器晶体的光通量，解决了同步辐射光源的单色器光通量的瓶颈问题。同时采用配重设计，减弱单色器晶体的振动，降低了实验终端的X射线光斑的抖动幅度。从X射线光亮度和实验终端X射线的光斑稳定性，进一步提升了实验终端的科学实验效果和水准。
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公开(公告)号：CN116360119A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310411794.X
申请日：2023-04-17
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本申请提供适于低频振动的角度偏差补偿系统、方法、设备及介质，所述系统包括：系统本体；光学元件支架，固定于所述系统本体上；所述光学元件支架上设有角度调节机构；光学元件，设于所述角度调节机构上以通过所述角度调节机构带动其进行角度调节；入射光束在经所述光学元件后发生偏转；振动传感器，设于所述系统本体上，用于探测系统的振动信号；光束抖动探测器，设于经所述光学元件后发生偏转的出射光束的出光路径上，用于探测所述出射光束的抖动信号。本发明以线性振动传感器的信号作为反馈信号，采用光学元件支架上的角度调节机构补偿光学元件的角度振动，以实现最终光斑的振动稳定性要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115704941A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202110909673.9
申请日：2021-08-09
Applicant: 上海科技大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明提供一种角度振动控制系统，所述系统包括：固定部，其上固定有光学部；底座，与所述固定部活动连接；驱动器，设于所述底座上，且与所述固定部连接；传感器，与所述驱动器通信连接，用于采集所述底座的角度振动信号以获取驱动信号；所述驱动器接收所述驱动信号以调节所述固定部与底座的相对角度。本发明通过传感器采集所述底座的角度振动信号以获取驱动信号；将驱动信号发送至设于所述底座上的驱动器，进而通过所述驱动器调节所述固定部与底座的相对角度，实现对光学部的角度振动的主动控制，提高装置及系统的角度稳定性。所述系统应用与大科学装置对提高科学实验的准确性和实验结果的可靠性具有重大意义。
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公开(公告)号：CN113655612A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202111035778.2
申请日：2021-09-03
Applicant: 上海科技大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供一种高稳定性二维姿态调整机构，属于仪器设备领域，其包括调节台、底座、平行设于底座上的两个直线驱动器，设于两个驱动器之间的两个柔性连接组件，设于底座与调节台之间的抬举器组，抬举器组用于将调节台抬升并离开底座，两个直线驱动器用于分别带动两个柔性连接组件同向或反向移动，从而带动调节台径向平移或轴向旋转。使用时，抬举器通过一定的抬升力来隔开调节台和底座，避免调节台和底座之间的相互摩擦，然后驱动两个直线驱动器，调节相同或相反方向运动，从而实现调节台的平动调节和平面内的角度调节，两个驱动器的所有运动都可以分解成上述两个运动的叠加，从而实现了调节台在水平面内特定直线方向和水平面内角度的联动调节。
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公开(公告)号：CN112125277A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202011076966.5
申请日：2020-10-10
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于超导探测器玻璃窗的制备工艺，其特征在于，在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧切割出芯片边界切割槽一，并完全刻蚀芯片边界切割槽一内的硅或氮化硅及截止层；将玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧与承载晶圆键合；在键合晶圆的硅层一侧刻蚀玻璃窗，并在对应芯片边界切割槽一的位置刻蚀出芯片边界切割槽二，露出截止层；采用氧气等离子体清洗残留的光刻胶；使用有机溶剂分离玻璃窗晶圆与承载晶圆，将含玻璃窗的芯片与玻璃窗晶圆分离。采用本发明提供的适用于宇宙微波背景辐射探测的超导探测器玻璃窗的制备方案，可将制备含探测器图形的玻璃窗的成功率提高到100％，含玻璃窗的芯片从玻璃窗晶圆上分离的成功率同样达到100％。
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公开(公告)号：CN112071788A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011077138.3
申请日：2020-10-10
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法。所述晶圆键合装置包括晶圆对准装置及承重砝码，所述晶圆对准装置上设有晶圆放置槽，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽的边缘设有夹取晶圆的镊子槽。使用方法为：首先，在玻璃窗晶圆及承载晶圆上旋涂粘合物；然后，将承载晶圆、玻璃窗晶圆先后放入晶圆槽，晶圆切边与镊子槽对齐放置；第三，将承重砝码放置在玻璃窗晶圆上，并配合加热来赶走两片晶圆之间的气泡，从而实现晶圆键合。本发明在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧键合一片承载晶圆，利用承载晶圆来承受玻璃窗制备时的背部氦气气压，以此来解决玻璃窗破裂的难题。
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公开(公告)号：CN119491979A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411586137.X
申请日：2024-11-08
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明提供一种适用于硬X射线能量衰减的衰减片可快拆支架，涉及硬X射线自由电子激光领域。本发明提供的适用于硬X射线能量衰减的衰减片可快拆支架，包括基架和多个快速锁紧器，基架的正反两面均设有衰减片放置槽，衰减片放置槽中央设有通光孔，可实现衰减片的叠加使用，显著提升衰减量级；快速锁紧器包括与基架可拆卸连接的壳体，壳体中设有穿过壳体顶部且可转动的转轴，转轴的顶部设有旋钮，转轴的底部设有用于抵持衰减片的压舌板，转轴上环绕设有弹簧，壳体上设有斜坡和压舌槽，通过上提并转动旋钮，可使得弹簧压缩，压舌板沿斜坡滑进压舌槽或滑向衰减片表面，来实现快速拆装衰减片的功能，能适用于不同形状、不同种类和不同厚度的衰减片，减少因更换衰减片而导致的实验中断；冷却管道直接开在基架内部，位于衰减片下方，散热效率高，解决了硬X射线自由电子激光中能量衰减片的热量堆积问题；从而提高实验室的生产力，减少设备和操作人员的风险，增强了整个系统的安全性。
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