公开(公告)号：CN119355914A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411790023.7

申请日：2024-12-06

Applicant: 上海科技大学 ,  张江国家实验室

Inventor： 刘芳 ,  陈诺 ,  刘志 ,  黄楠顺 ,  王月

IPC: G02B7/182 ,  G02B7/18

Abstract: 本发明提供一种适用于超高真空低应力反射镜的夹持装置，涉及精密光机设备技术领域。本发明所提供的一种适用于超高真空低应力反射镜的夹持装置，包括反射镜基座、顶部压紧组件和多个底部支撑组件；反射镜基座的顶部设有反射镜开槽，反射镜开槽中适于放置反射镜，反射镜基座的底部设有多个支撑组件开槽，每个支撑组件开槽均与反射镜开槽相连通；每个支撑组件开槽中均设有一个底部支撑组件。本发明的夹持方式能够保证反射镜受到较小的夹持应力；另一方面，反射镜底部和反射镜凹槽底部之间还设有用于导热的导热片，导热片的上下表现分别接触反射镜底部和反射镜开槽底部，能够增大反射镜底部的导热接触面积，从而加强了反射镜的导热能力。

公开(公告)号：CN120033520A

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202510173357.8

申请日：2025-02-17

Applicant: 中国科学院上海高等研究院 ,  张江国家实验室

Inventor： 邓海啸 ,  王月 ,  黄楠顺

IPC: H01S3/08

Abstract: 本发明提供一种谐振腔型极紫外自由电子激光器的辐射引出装置，其特征在于，包括分布在谐振腔的主轴的其中一侧的一个或多个第一反射镜，所述第一反射镜设置为接收谐振腔内的辐射光束的一部分，至少通过第一反射镜对谐振腔内的辐射光束的反射来得到引出光束。本发明还提供相应的辐射引出系统和方法。本发明的谐振腔型极紫外自由电子激光器的辐射引出装置使用不挖孔的多层膜反射镜直接从谐振腔内部将所需的FEL辐射引出，该方案避免了谐振腔型FEL装置的谐振腔镜中心打孔，直接从谐振腔内部将所需的FEL辐射引出，减小了FEL的谐振腔镜的制备难度和镀膜的不稳定因素，提高振腔型EUV FEL的辐射输出质量，提高FEL放大增益。