公开(公告)号：CN118112742A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202410360708.1

申请日：2024-03-27

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 刘芳 ,  吴天宇 ,  袁浩然 ,  刘志

IPC: G02B7/18 ,  G02B7/182 ,  G02B7/198

Abstract: 本发明公开了涉及精密光机设备技术领域的一种适用于高热负载的高稳定性反射镜调节装置，包括隔振底座、反射镜主体、反射镜支撑板、辅助驱动组件、反射镜冷却组件、冷却片支撑板和同步传动机构，辅助驱动组件和同步传动机安装在隔振底座上，同步传动机构的反射镜驱动支撑端组件和冷却片驱动支撑端组件能够实现反射镜主体和冷却片的同步升降，反射镜主体上沿长度方向开设有冷却槽并填充有导热液体，冷却片通过冷却片支撑板悬置在冷却槽内并与导热液体接触，实现了冷却系统与反射镜主体的振动解耦。本发明利用导热液体和同步传递组件，确保冷却系统在正常运行时减少对反射镜主体的振动干扰，从而提高整个反射镜系统的稳定性。

公开(公告)号：CN116360119A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310411794.X

申请日：2023-04-17

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 刘芳 ,  何世靖 ,  张鑫宇 ,  吴天宇 ,  王之卓 ,  袁浩然 ,  刘志

IPC: G02B27/62 ,  G01H1/00 ,  G02B7/00 ,  G02B26/08 ,  G02B27/48

Abstract: 本申请提供适于低频振动的角度偏差补偿系统、方法、设备及介质，所述系统包括：系统本体；光学元件支架，固定于所述系统本体上；所述光学元件支架上设有角度调节机构；光学元件，设于所述角度调节机构上以通过所述角度调节机构带动其进行角度调节；入射光束在经所述光学元件后发生偏转；振动传感器，设于所述系统本体上，用于探测系统的振动信号；光束抖动探测器，设于经所述光学元件后发生偏转的出射光束的出光路径上，用于探测所述出射光束的抖动信号。本发明以线性振动传感器的信号作为反馈信号，采用光学元件支架上的角度调节机构补偿光学元件的角度振动，以实现最终光斑的振动稳定性要求。