公开(公告)号：CN117949480A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202211327921.X

申请日：2022-10-27

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 张宗霖 ,  王峰 ,  柳仲楷 ,  王美晓 ,  刘芳 ,  张鑫宇

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2273

Abstract: 本发明提供一种样品位置调节装置、方法、及样品试验系统，包括转盘、样品台组件、样品位移调节组件、以及冷却组件，所述样品台组件设置在样品位移调节组件上，用于对样品进行放置固定；所述样品位移调节组件设置在转盘上，用于对样品的位置进行调节；所述冷却组件与样品台组件连接，用于降低样品的温度。本发明包括第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件、以及旋转驱动组件，从而能够实现五个方向自由度的控制(转盘一个自由度、样品位移调节组件三个自由度、旋转驱动组件一个自由度)，实现了对样品位置精准控制。本发明设置有冷却组件，能够将样品所处的温度控制在14k的低温状态，得到样品在低温状态下的性能。

公开(公告)号：CN115166931A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210777140.4

申请日：2022-07-04

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 刘芳 ,  张鑫宇 ,  王震 ,  刘志

IPC: G02B7/18 ,  G02B7/185 ,  F21V29/505 ,  F21V29/56

Abstract: 本发明涉及一种反射镜冷却系统，包括反射镜主体，在反射镜主体上开设有沿长度方向伸展的冷却槽；冷却槽内盛有具有良好导热性能的导热液体，其特征在于，还包括冷却块组，通过导热液体在反射镜主体和冷却块组之间进行热传递，从而冷却反射镜主体；同时，冷却块组的部分振动由导热液体吸收，从而降低冷却块组的振动对反射镜主体稳定性的影响。与现有技术相比，本发明可以通过调整子冷却块的数量和子冷却块之间的间距来构建多种冷却模式，从而可以对不同模式的入射光进行更优的冷却。

公开(公告)号：CN115166931B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202210777140.4

申请日：2022-07-04

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 刘芳 ,  张鑫宇 ,  王震 ,  刘志

IPC: G02B7/18 ,  G02B7/185 ,  F21V29/505 ,  F21V29/56

Abstract: 本发明涉及一种反射镜冷却系统，包括反射镜主体，在反射镜主体上开设有沿长度方向伸展的冷却槽；冷却槽内盛有具有良好导热性能的导热液体，其特征在于，还包括冷却块组，通过导热液体在反射镜主体和冷却块组之间进行热传递，从而冷却反射镜主体；同时，冷却块组的部分振动由导热液体吸收，从而降低冷却块组的振动对反射镜主体稳定性的影响。与现有技术相比，本发明可以通过调整子冷却块的数量和子冷却块之间的间距来构建多种冷却模式，从而可以对不同模式的入射光进行更优的冷却。

公开(公告)号：CN116360119A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310411794.X

申请日：2023-04-17

Applicant: 上海科技大学

Inventor： 刘芳 ,  何世靖 ,  张鑫宇 ,  吴天宇 ,  王之卓 ,  袁浩然 ,  刘志

IPC: G02B27/62 ,  G01H1/00 ,  G02B7/00 ,  G02B26/08 ,  G02B27/48

Abstract: 本申请提供适于低频振动的角度偏差补偿系统、方法、设备及介质，所述系统包括：系统本体；光学元件支架，固定于所述系统本体上；所述光学元件支架上设有角度调节机构；光学元件，设于所述角度调节机构上以通过所述角度调节机构带动其进行角度调节；入射光束在经所述光学元件后发生偏转；振动传感器，设于所述系统本体上，用于探测系统的振动信号；光束抖动探测器，设于经所述光学元件后发生偏转的出射光束的出光路径上，用于探测所述出射光束的抖动信号。本发明以线性振动传感器的信号作为反馈信号，采用光学元件支架上的角度调节机构补偿光学元件的角度振动，以实现最终光斑的振动稳定性要求。