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公开(公告)号:CN114713309B
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202210292318.6
申请日:2022-03-23
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了超高真空实验设备技术领域的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台,包括台底座;台盖板,台盖板可升降的设置在台底座上;预紧机构,预紧机构设置于台底座和台盖板之间,并对台盖板施加朝向台底座的弹性预紧力;夹紧机构,夹紧机构设置在台底座和台盖板之间,用于增加台盖板和台底座对样品托的夹紧力。本发明先通过预紧机构对台盖板的弹性预紧力使台盖板和台底座对样品托进行预夹紧,以防止机械手抽回时带动样品托,再通过预紧机构调节台盖板对样品托的挤压力大小,以增大台底座和台盖板对样品托的夹紧力,实现样品托的夹紧固定,并防止样品托在运动过程中受振动或转动角度影响而移动或脱落。
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公开(公告)号:CN117990729A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202211327945.5
申请日:2022-10-27
Applicant: 上海科技大学
IPC: G01N23/2273 , G02B7/00
Abstract: 本发明提供一种光路调节装置、方法、及样品试验系统,包括聚光组件,所述聚光组件包括波带片;还包括支撑底座、级敷筛选孔部件、波带片位移调节组件、以及级敷筛选孔位移调节组件,所述波带片设置在波带片位移调节组件上,所述级敷筛选孔部件设置在级敷筛选孔位移调节组件上,所述波带片位移调节组件设置在支撑底座上,用于调节波带片的位置;所述级敷筛选孔位移调节组件设置在支撑底座上,用于调节级敷筛选孔部件的位置;光路途经波带片、级敷筛选孔部件聚焦形成光斑定位在样品上。本发明设置有波带片及级敷筛选孔,光路经过波带片及级敷筛选孔后,可以得到小的聚焦光斑,聚焦光斑定位在样品上,进行光电转换,实现优于200nm的最高空间分辨率。
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公开(公告)号:CN117949480A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202211327921.X
申请日:2022-10-27
Applicant: 上海科技大学
IPC: G01N23/2204 , G01N23/2273
Abstract: 本发明提供一种样品位置调节装置、方法、及样品试验系统,包括转盘、样品台组件、样品位移调节组件、以及冷却组件,所述样品台组件设置在样品位移调节组件上,用于对样品进行放置固定;所述样品位移调节组件设置在转盘上,用于对样品的位置进行调节;所述冷却组件与样品台组件连接,用于降低样品的温度。本发明包括第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件、以及旋转驱动组件,从而能够实现五个方向自由度的控制(转盘一个自由度、样品位移调节组件三个自由度、旋转驱动组件一个自由度),实现了对样品位置精准控制。本发明设置有冷却组件,能够将样品所处的温度控制在14k的低温状态,得到样品在低温状态下的性能。
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公开(公告)号:CN114713309A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202210292318.6
申请日:2022-03-23
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了超高真空实验设备技术领域的一种应用于超高真空和极低温环境的样品台,包括台底座;台盖板,台盖板可升降的设置在台底座上;预紧机构,预紧机构设置于台底座和台盖板之间,并对台盖板施加朝向台底座的弹性预紧力;夹紧机构,夹紧机构设置在台底座和台盖板之间,用于增加台盖板和台底座对样品托的夹紧力。本发明先通过预紧机构对台盖板的弹性预紧力使台盖板和台底座对样品托进行预夹紧,以防止机械手抽回时带动样品托,再通过预紧机构调节台盖板对样品托的挤压力大小,以增大台底座和台盖板对样品托的夹紧力,实现样品托的夹紧固定,并防止样品托在运动过程中受振动或转动角度影响而移动或脱落。
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公开(公告)号:CN217307451U
公开(公告)日:2022-08-26
申请号:CN202220785743.4
申请日:2022-03-30
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本实用新型公开了超高真空实验设备技术领域的一种应用于超真空和极低温环境的二维高精度传动机构,包括面内角传动机构,面内角传动机构包括依次设置并连接的第一传动杆、轴向补偿器和第一软轴;俯仰角传动机构,俯仰角传动机构包括依次设置并连接的第二传动杆、第二软轴和刚性传动轴;轴向补偿器的轴向长度可调,轴向补偿器包括用于减少面内角调节机构漏热的第一隔热轴段;第二软轴用于带动与第二传动杆非同轴设置的刚性传动轴转动,刚性传动轴包括用于减少俯仰角调节机构漏热的第二隔热轴段。本实用新型可在极低温和超真空环境中,实现多自由度、精密地运动调控。
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