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公开(公告)号：CN100551462C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710047400.8
申请日：2007-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属底膜，涂覆聚酰亚胺酸，光刻并刻蚀聚酰亚胺酸，电铸金属电极，热固化形成聚酰亚胺，将制备好的基于聚酰亚胺柔性基底的生物微电极阵列从聚二甲基硅氧烷上剥离下来。电极位于金属电路的两端，并按照应用要求排布电极阵列，电极一头与生物组织相连，另一头与刺激器或测量仪器相连，电极底端的金属电路将两边电极相连。本发明制造的生物微电极阵列具有成品率高，电极位置可控，阻抗小，生物相容等优点。
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公开(公告)号：CN1936593A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610117283.3
申请日：2006-10-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种简支梁型微电子机械系统探卡及其制备方法，采用UV－LIGA多次光刻、电镀工艺在基片上制备弹性金属探针，在探针结构上采用简支梁代替目前的悬臂梁，以承受和产生更大的刺穿氧化膜应力，并通过设计简支梁的厚度来调节探针的位移。本发明的探卡由按照芯片引脚分布而排布的简支梁阵列实现，探针在简支梁的中间，并保证针尖的位置与相应的芯片引脚位置一致。简支梁的底端为电镀的金属引线，引线从简支梁底端向探针外围四周延伸，通过点焊连接到对应的印刷电路板上，从而连通从探针到测试机台的信号电路。本发明工艺简单，成品率高，能很好的控制探针形状尺寸，套刻精度高，适于大规模生产。
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公开(公告)号：CN101694895B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200910309143.X
申请日：2009-10-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种射频微机电系统技术领域的技术领域的基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关，包括：热驱动臂、放大臂、接触块、隔离块、放大臂固定端和热驱动臂固定端，其中：两根热驱动臂相互平行且一端与放大臂的一端固定连接，两根热驱动臂的另一端分别与两块热驱动臂固定端相连接，放大臂近热驱动臂的一端与放大臂固定端相连接，放大臂的另一端与隔离块相连接，隔离块与两块接触块相对设置。本发明具有尺寸小，开关行程大，驱动电压低，射频信号与驱动电流隔离，工艺简单，成品率高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101478269A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910046098.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU－8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU－8驱动层包括SU－8热臂、SU－8冷臂、SU－8柔性梁；U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁；热臂单元包括SU－8热臂和蛇形金属热臂，冷臂单元包括SU－8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU－8驱动层包裹形成三明治结构，带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。
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公开(公告)号：CN100445750C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200610117283.3
申请日：2006-10-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种简支梁型微电子机械系统探卡及其制备方法，采用UV-LIGA多次光刻、电镀工艺在基片上制备弹性金属探针，在探针结构上采用简支梁代替目前的悬臂梁，以承受和产生更大的刺穿氧化膜应力，并通过设计简支梁的厚度来调节探针的位移。本发明的探卡由按照芯片引脚分布而排布的简支梁阵列实现，探针在简支梁的中间，并保证针尖的位置与相应的芯片引脚位置一致。简支梁的底端为电镀的金属引线，引线从简支梁底端向探针外围四周延伸，通过点焊连接到对应的印刷电路板上，从而连通从探针到测试机台的信号电路。本发明工艺简单，成品率高，能很好的控制探针形状尺寸，套刻精度高，适于大规模生产。
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公开(公告)号：CN101694895A
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200910309143.X
申请日：2009-10-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种射频微机电系统技术领域的技术领域的基于热驱动放大的串联射频微电子机械开关，包括：热驱动臂、放大臂、接触块、隔离块、放大臂固定端和热驱动臂固定端，其中：两根热驱动臂相互平行且一端与放大臂的一端固定连接，两根热驱动臂的另一端分别与两块热驱动臂固定端相连接，放大臂近热驱动臂的一端与放大臂固定端相连接，放大臂的另一端与隔离块相连接，隔离块与两块接触块相对设置。本发明具有尺寸小，开关行程大，驱动电压低，射频信号与驱动电流隔离，工艺简单，成品率高等优点。
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公开(公告)号：CN101138663A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710047400.8
申请日：2007-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属底膜，涂覆聚酰亚胺酸，光刻并刻蚀聚酰亚胺酸，电铸金属电极，热固化形成聚酰亚胺，将制备好的基于聚酰亚胺柔性基底的生物微电极阵列从聚二甲基硅氧烷上剥离下来。电极位于金属电路的两端，并按照应用要求排布电极阵列，电极一头与生物组织相连，另一头与刺激器或测量仪器相连，电极底端的金属电路将两边电极相连。本发明制造的生物微电极阵列具有成品率高，电极位置可控，阻抗小，生物相容等优点。
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公开(公告)号：CN101478269B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910046098.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性梁；U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁；热臂单元包括SU-8热臂和蛇形金属热臂，冷臂单元包括SU-8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU-8驱动层包裹形成三明治结构，带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。
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