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公开(公告)号：CN101138663A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710047400.8
申请日：2007-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属底膜，涂覆聚酰亚胺酸，光刻并刻蚀聚酰亚胺酸，电铸金属电极，热固化形成聚酰亚胺，将制备好的基于聚酰亚胺柔性基底的生物微电极阵列从聚二甲基硅氧烷上剥离下来。电极位于金属电路的两端，并按照应用要求排布电极阵列，电极一头与生物组织相连，另一头与刺激器或测量仪器相连，电极底端的金属电路将两边电极相连。本发明制造的生物微电极阵列具有成品率高，电极位置可控，阻抗小，生物相容等优点。
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公开(公告)号：CN100551462C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200710047400.8
申请日：2007-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于柔性基底的生物微电极阵列的制备方法，采用二次光刻和电铸工艺，在基片表面依次涂覆聚二甲基硅氧烷牺牲层和聚酰亚胺酸，热固化形成聚酰亚胺柔性基底，在柔性基底上通过溅射、光刻和电铸工艺制备金属电路，然后刻蚀金属底膜，涂覆聚酰亚胺酸，光刻并刻蚀聚酰亚胺酸，电铸金属电极，热固化形成聚酰亚胺，将制备好的基于聚酰亚胺柔性基底的生物微电极阵列从聚二甲基硅氧烷上剥离下来。电极位于金属电路的两端，并按照应用要求排布电极阵列，电极一头与生物组织相连，另一头与刺激器或测量仪器相连，电极底端的金属电路将两边电极相连。本发明制造的生物微电极阵列具有成品率高，电极位置可控，阻抗小，生物相容等优点。
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