-
公开(公告)号：CN101621261A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910055966.4
申请日：2009-08-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。
-
公开(公告)号：CN101544347A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910049872.6
申请日：2009-04-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单，不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合，而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用，实现了无功耗的双稳态机制。
-
公开(公告)号：CN101544347B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910049872.6
申请日：2009-04-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单，不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合，而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用，实现了无功耗的双稳态机制。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101488724B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200910046341.1
申请日：2009-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线电极与发热电阻丝相连，置于应力控制层上；基座支撑结构上有金属柱阵列，能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁，是驱动的核心部件，受热产生翘曲，恢复到室温时基本保持平直；作为一个具体实例，发热电阻丝条宽15微米，厚度3微米，功能膨胀层厚度10微米，应力控制层厚度10微米，仿真计算得到输入功率为20mW，10ms后悬臂梁驱动位移达到约80微米。
-
公开(公告)号：CN101478269A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910046098.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU－8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU－8驱动层包括SU－8热臂、SU－8冷臂、SU－8柔性梁；U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁；热臂单元包括SU－8热臂和蛇形金属热臂，冷臂单元包括SU－8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU－8驱动层包裹形成三明治结构，带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。
-
公开(公告)号：CN101488724A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910046341.1
申请日：2009-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU－8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线电极与发热电阻丝相连，置于应力控制层上；基座支撑结构上有金属柱阵列，能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁，是驱动的核心部件，受热产生翘曲，恢复到室温时基本保持平直；作为一个具体实例，发热电阻丝条宽15微米，厚度3微米，功能膨胀层厚度10微米，应力控制层厚度10微米，仿真计算得到输入功率为20mW，10ms后悬臂梁驱动位移达到约80微米。
-
公开(公告)号：CN101621261B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200910055966.4
申请日：2009-08-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。
-
公开(公告)号：CN101478269B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910046098.3
申请日：2009-02-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性梁；U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁；热臂单元包括SU-8热臂和蛇形金属热臂，冷臂单元包括SU-8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU-8驱动层包裹形成三明治结构，带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.021 seconds)
