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公开(公告)号：CN101488724A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910046341.1
申请日：2009-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU－8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线电极与发热电阻丝相连，置于应力控制层上；基座支撑结构上有金属柱阵列，能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁，是驱动的核心部件，受热产生翘曲，恢复到室温时基本保持平直；作为一个具体实例，发热电阻丝条宽15微米，厚度3微米，功能膨胀层厚度10微米，应力控制层厚度10微米，仿真计算得到输入功率为20mW，10ms后悬臂梁驱动位移达到约80微米。
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公开(公告)号：CN101621261B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200910055966.4
申请日：2009-08-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101343729A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810042161.1
申请日：2008-08-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法，该方法包括：一、靶材的制备，即首先把分析纯的Ni2O3、La2O3氧化物粉末以1∶1的比例混合，进行预烧，预烧后之后进行球磨，然后压成直径50mm，厚度4mm的圆片，最后在1050～1150℃度高温中烧结成陶瓷靶；二、薄膜材料的制备，即采用射频磁控溅射法，调整好溅射机的各项参数，衬底原位加热到一定温度后，溅射沉积所需厚度的薄膜。本发明的方法制得的薄膜具有高度的择优取向和良好的导电性，表面致密平整，在室温下的电阻率约为1mΩcm。这种薄膜可以用作制备高质量钙钛矿结构铁电薄膜材料的缓冲层，或者可作为铁电薄膜器件的底电极。
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公开(公告)号：CN101621261A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910055966.4
申请日：2009-08-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。
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公开(公告)号：CN101544347A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910049872.6
申请日：2009-04-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单，不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合，而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用，实现了无功耗的双稳态机制。
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公开(公告)号：CN101544347B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910049872.6
申请日：2009-04-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方，双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连，构成一个悬空自由运动的可动梁；一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边；一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单，不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合，而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用，实现了无功耗的双稳态机制。
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公开(公告)号：CN101488724B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200910046341.1
申请日：2009-02-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线电极与发热电阻丝相连，置于应力控制层上；基座支撑结构上有金属柱阵列，能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁，是驱动的核心部件，受热产生翘曲，恢复到室温时基本保持平直；作为一个具体实例，发热电阻丝条宽15微米，厚度3微米，功能膨胀层厚度10微米，应力控制层厚度10微米，仿真计算得到输入功率为20mW，10ms后悬臂梁驱动位移达到约80微米。
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