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公开(公告)号：CN103036471A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210379990.5
申请日：2012-09-29
申请人： 三美电机株式会社
CPC分类号： H01L41/0475 , G02B26/0858 , H01L41/0805
摘要： 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。
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公开(公告)号：CN107533221B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680024786.8
申请日：2016-04-22
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
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公开(公告)号：CN105549201B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201510707121.4
申请日：2015-10-27
申请人： 三美电机株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105 , G02B26/0858
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，其能够减少检测反射镜的摆角的传感器的输出信号的变动。本光扫描装置是使反射镜摆动来扫描入射光的光扫描装置，具有：光扫描部，其具备检测上述反射镜的摆角的传感器以及与上述传感器连接的配线；以及遮光部，其对上述入射光对上述传感器以及上述配线的杂光以及干扰光进行遮光。
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公开(公告)号：CN105700129B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201610237754.8
申请日：2012-09-29
申请人： 三美电机株式会社
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/105 , G01B11/25 , G01C9/06 , G01C2009/066 , G01S7/4817 , G02B26/0858 , G02B26/101
摘要： 本发明提供能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有：以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在连结梁上，当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移，第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。
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公开(公告)号：CN103700762B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310451340.1
申请日：2013-09-26
申请人： 三美电机株式会社
CPC分类号： G02B26/10 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01L41/0471 , H01L41/0477 , H01L41/094
摘要： 本发明提供可以降低驱动电压的压电致动器以及光扫描装置。具有多层压电体、以夹持所述多层压电体的各个压电体的方式而形成的多个电极、在其上部形成所述多层压电体和所述多个电极的基板。
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公开(公告)号：CN107533221A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680024786.8
申请日：2016-04-22
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
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公开(公告)号：CN105549201A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510707121.4
申请日：2015-10-27
申请人： 三美电机株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105 , G02B26/0858
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，其能够减少检测反射镜的摆角的传感器的输出信号的变动。本光扫描装置是使反射镜摆动来扫描入射光的光扫描装置，具有：光扫描部，其具备检测上述反射镜的摆角的传感器以及与上述传感器连接的配线；以及遮光部，其对上述入射光对上述传感器以及上述配线的杂光以及干扰光进行遮光。
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公开(公告)号：CN118870269A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410245972.0
申请日：2024-03-05
申请人： 三美电机株式会社
发明人： 阿贺寿典
摘要： 本发明的目的在于提供一种小型且防止隔膜的位移被抑制的振动器件、扬声器单元以及振动器件的制造方法。本发明的一方案的振动器件具备：基板；第一驱动源，其配置于上述基板上，使上述基板振动；第二驱动源，其与上述第一驱动源分离地配置于上述基板上，使上述基板振动；以及隔膜，其从上述第一驱动源上配置到上述第二驱动源上，并且具有在面内方向上扩展的主部以及沿面垂直方向突出的阻尼器部。上述主部具备层叠于上述第一驱动源的第一区域、层叠于上述第二驱动源的第二区域、以及配置于上述第一区域与上述第二区域之间的第三区域，上述阻尼器部具备连接第一区域及第三区域的第一部分和连接第二区域及第三区域的第二部分。
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