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公开(公告)号：CN103036471A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210379990.5
申请日：2012-09-29
Applicant: 三美电机株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , G02B26/0858 , H01L41/0805
Abstract: 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。
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公开(公告)号：CN107533221B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680024786.8
申请日：2016-04-22
Applicant: 三美电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
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公开(公告)号：CN105549201B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201510707121.4
申请日：2015-10-27
Applicant: 三美电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/105 , G02B26/0858
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其能够减少检测反射镜的摆角的传感器的输出信号的变动。本光扫描装置是使反射镜摆动来扫描入射光的光扫描装置，具有：光扫描部，其具备检测上述反射镜的摆角的传感器以及与上述传感器连接的配线；以及遮光部，其对上述入射光对上述传感器以及上述配线的杂光以及干扰光进行遮光。
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公开(公告)号：CN111983802A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010442321.2
申请日：2020-05-22
Applicant: 三美电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，能够抑制保护膜从配线上的剥离。一种光扫描装置，通过使镜面摆动而使照射于前述镜面的光的反射光进行扫描，其特征在于，具有由金形成的配线、覆盖前述配线的保护膜以及形成于前述配线与前述保护膜之间的密合膜。前述密合膜的热膨胀系数优选为前述配线的热膨胀系数与前述保护膜的热膨胀系数之间的值。
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公开(公告)号：CN105700129B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201610237754.8
申请日：2012-09-29
Applicant: 三美电机株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/105 , G01B11/25 , G01C9/06 , G01C2009/066 , G01S7/4817 , G02B26/0858 , G02B26/101
Abstract: 本发明提供能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有：以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在连结梁上，当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移，第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103700762B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310451340.1
申请日：2013-09-26
Applicant: 三美电机株式会社
CPC classification number: G02B26/10 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01L41/0471 , H01L41/0477 , H01L41/094
Abstract: 本发明提供可以降低驱动电压的压电致动器以及光扫描装置。具有多层压电体、以夹持所述多层压电体的各个压电体的方式而形成的多个电极、在其上部形成所述多层压电体和所述多个电极的基板。
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公开(公告)号：CN112490348B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202010949903.X
申请日：2020-09-10
Applicant: 三美电机株式会社
Inventor： 阿贺寿典
IPC: H10N30/50 , H10N30/853 , G02B26/10
Abstract: 本发明提供压电致动器和光扫描装置，降低压电致动器的驱动电压。本压电致动器具有基板和形成于前述基板上的驱动源，前述驱动源具有平均粒径1μm以下的压电薄膜。
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公开(公告)号：CN111983802B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010442321.2
申请日：2020-05-22
Applicant: 三美电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，能够抑制保护膜从配线上的剥离。一种光扫描装置，通过使镜面摆动而使照射于前述镜面的光的反射光进行扫描，其特征在于，具有由金形成的配线、覆盖前述配线的保护膜以及形成于前述配线与前述保护膜之间的密合膜。前述密合膜的热膨胀系数优选为前述配线的热膨胀系数与前述保护膜的热膨胀系数之间的值。
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公开(公告)号：CN107533221A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680024786.8
申请日：2016-04-22
Applicant: 三美电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
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公开(公告)号：CN105549201A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510707121.4
申请日：2015-10-27
Applicant: 三美电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/105 , G02B26/0858
Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其能够减少检测反射镜的摆角的传感器的输出信号的变动。本光扫描装置是使反射镜摆动来扫描入射光的光扫描装置，具有：光扫描部，其具备检测上述反射镜的摆角的传感器以及与上述传感器连接的配线；以及遮光部，其对上述入射光对上述传感器以及上述配线的杂光以及干扰光进行遮光。
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