Invention Publication
- Patent Title: 光扫描装置
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Application No.: CN202010442321.2Application Date: 2020-05-22
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Publication No.: CN111983802APublication Date: 2020-11-24
- Inventor: 阿贺寿典 , 须藤康之
- Applicant: 三美电机株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 三美电机株式会社
- Current Assignee: 三美电机株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京银龙知识产权代理有限公司
- Agent 钟晶; 金鲜英
- Priority: 2019-097795 2019.05.24 JP
- Main IPC: G02B26/10
- IPC: G02B26/10 ; G02B26/08
Abstract:
本发明提供一种光扫描装置，能够抑制保护膜从配线上的剥离。一种光扫描装置，通过使镜面摆动而使照射于前述镜面的光的反射光进行扫描，其特征在于，具有由金形成的配线、覆盖前述配线的保护膜以及形成于前述配线与前述保护膜之间的密合膜。前述密合膜的热膨胀系数优选为前述配线的热膨胀系数与前述保护膜的热膨胀系数之间的值。
Public/Granted literature
- CN111983802B 光扫描装置 Public/Granted day:2024-05-14
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