公开(公告)号：CN111367074A

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201911072927.5

申请日：2019-11-05

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 须藤康之

IPC分类号： G02B26/10 ,  G02B26/08

摘要： 本发明的目的在于提高制造成本地有效活用固定框。光扫描装置具有具备镜反射面的镜部、驱动上述镜部的驱动部、及经由上述驱动部来支撑上述镜部的固定框，在上述固定框设有在上述镜部或上述驱动部的制造时形成的检查用图案。例如，上述检查用图案包含用于外观检查装置识别检查区域的第一识别用图案。

公开(公告)号：CN111983802B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202010442321.2

申请日：2020-05-22

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 阿贺寿典 ,  须藤康之

IPC分类号： G02B26/10 ,  G02B26/08

摘要： 本发明提供一种光扫描装置，能够抑制保护膜从配线上的剥离。一种光扫描装置，通过使镜面摆动而使照射于前述镜面的光的反射光进行扫描，其特征在于，具有由金形成的配线、覆盖前述配线的保护膜以及形成于前述配线与前述保护膜之间的密合膜。前述密合膜的热膨胀系数优选为前述配线的热膨胀系数与前述保护膜的热膨胀系数之间的值。

公开(公告)号：CN116743104A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310168594.6

申请日：2023-02-24

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 须藤康之

IPC分类号： H03H9/05 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

摘要： 本发明提供一种压电薄膜谐振器和压电薄膜谐振器的制造方法。根据本公开的一个方式的压电薄膜谐振器包括具有第一主面的基板、设置在第一主面上的氧化膜以及设置在氧化膜上的依次层叠第一电极、压电膜和第一电极而成的层叠膜，在所述基板与所述第一电极之间设置有除去了所述氧化膜的空洞，所述压电膜具有与所述空洞连通的贯通孔。根据本发明，能够低成本且容易地制造压电薄膜谐振器。

公开(公告)号：CN109960028B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN201811528167.X

申请日：2018-12-13

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 须藤康之 ,  若杉崇弘

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/10

摘要： 本发明提供一种光扫描装置，即使被驱动部与压电传感器的距离接近也能够使对压电传感器的应力集中缓和。本光扫描装置具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而发生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。

公开(公告)号：CN116744770A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310164255.0

申请日：2023-02-24

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 若杉崇弘 ,  须藤康之

IPC分类号： H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58 ,  H03H9/05

摘要： 本发明提供一种压电滤波器，其能够节省压电滤波器的尺寸。本公开的一个方式的压电滤波器具有：第一基板，其具有第一主面；第二基板，其具有与所述第一主面相对的第二主面；以及阶数N的梯形电路，其包含N(N为3以上的整数)个压电谐振器，在所述第一主面形成有所述梯形电路所包含的从1阶到M(M为1以上且N‑1以下的整数)阶的所述压电谐振器，在所述第二主面形成有所述梯形电路所包含的从M+1阶到N阶的所述压电谐振器。

公开(公告)号：CN111983802A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010442321.2

申请日：2020-05-22

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 阿贺寿典 ,  须藤康之

IPC分类号： G02B26/10 ,  G02B26/08

摘要： 本发明提供一种光扫描装置，能够抑制保护膜从配线上的剥离。一种光扫描装置，通过使镜面摆动而使照射于前述镜面的光的反射光进行扫描，其特征在于，具有由金形成的配线、覆盖前述配线的保护膜以及形成于前述配线与前述保护膜之间的密合膜。前述密合膜的热膨胀系数优选为前述配线的热膨胀系数与前述保护膜的热膨胀系数之间的值。

公开(公告)号：CN109960028A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201811528167.X

申请日：2018-12-13

申请人： 三美电机株式会社

发明人： 须藤康之 ,  若杉崇弘

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/10

摘要： 本发明提供一种光扫描装置，即使被驱动部与压电传感器的距离接近也能够使对压电传感器的应力集中缓和。本光扫描装置具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而发生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。