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公开(公告)号：CN116744770A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310164255.0
申请日：2023-02-24
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供一种压电滤波器，其能够节省压电滤波器的尺寸。本公开的一个方式的压电滤波器具有：第一基板，其具有第一主面；第二基板，其具有与所述第一主面相对的第二主面；以及阶数N的梯形电路，其包含N(N为3以上的整数)个压电谐振器，在所述第一主面形成有所述梯形电路所包含的从1阶到M(M为1以上且N‑1以下的整数)阶的所述压电谐振器，在所述第二主面形成有所述梯形电路所包含的从M+1阶到N阶的所述压电谐振器。
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公开(公告)号：CN110320662A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910207327.9
申请日：2019-03-19
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供能够抑制在促动器的共振驱动时产生由非线形振动引起的跳跃现象并能够进行大振动角的稳定驱动。本发明的促动器具备支撑驱动对象物的扭曲梁、形成有驱动源的驱动梁、连结上述扭曲梁和上述驱动梁的连结梁、以及固定有上述驱动梁的框体，上述促动器通过上述驱动梁的共振驱动来对上述扭曲梁施加绕预定轴旋转的方向的力，使上述驱动对象物摆动，当将上述促动器的构造非线形常数设为β[Nm/rad3]、将上述促动器的弹簧常数设为k[Nm/rad]时，满足下述式(1)，β＝0.05×k-A×10-6(1)在此，3.5≤A≤15.5。
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公开(公告)号：CN109960028B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201811528167.X
申请日：2018-12-13
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，即使被驱动部与压电传感器的距离接近也能够使对压电传感器的应力集中缓和。本光扫描装置具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而发生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。
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公开(公告)号：CN110320662B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201910207327.9
申请日：2019-03-19
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供能够抑制在促动器的共振驱动时产生由非线形振动引起的跳跃现象并能够进行大振动角的稳定驱动。本发明的促动器具备支撑驱动对象物的扭曲梁、形成有驱动源的驱动梁、连结上述扭曲梁和上述驱动梁的连结梁、以及固定有上述驱动梁的框体，上述促动器通过上述驱动梁的共振驱动来对上述扭曲梁施加绕预定轴旋转的方向的力，使上述驱动对象物摆动，当将上述促动器的构造非线形常数设为β[Nm/rad3]、将上述促动器的弹簧常数设为k[Nm/rad]时，满足下述式(1)，β＝0.05×k‑A×10‑6 (1)在此，3.5≤A≤15.5。
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公开(公告)号：CN108337904B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201680057946.9
申请日：2016-11-18
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明以提供一种可降低传感器配线和驱动配线之间产生的串扰的光扫描模块为目的。本发明的光扫描模块具有使反射镜摆动以对入射光进行扫描的光扫描装置和安装所述光扫描装置的封装体，所述光扫描装置具有对所述反射镜的摆角进行检测的位移传感器，与所述位移传感器连接的传感器配线(PS)和使所述反射镜摆动的驱动信号所经过的驱动配线从所述光扫描装置被引绕至所述封装体内，形成所述传感器配线和所述驱动配线(PD)的配线层(L1、L2)被层叠，所述传感器配线和所述驱动配线在各层的平面图中被配置为不重叠，就相同配线层内的所述传感器配线和所述驱动配线而言，在毗邻的所述传感器配线和所述驱动配线之间设置GND配线(PG)。
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公开(公告)号：CN109960028A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201811528167.X
申请日：2018-12-13
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明提供一种光扫描装置，即使被驱动部与压电传感器的距离接近也能够使对压电传感器的应力集中缓和。本光扫描装置具有：一对扭梁，其沿着预定的轴配置于反射镜的两侧并使所述反射镜绕所述轴进行摆动；一对连结梁，其与所述扭梁分别连结；以及压电传感器，其形成在所述连结梁上，并对因所述反射镜的绕所述轴的摆动而发生的所述连结梁的位移进行检测，所述压电传感器具备：下部电极；压电薄膜，其层叠在所述下部电极上；以及上部电极，其层叠在所述压电薄膜上，所述压电薄膜的底面与侧面形成倾斜角θ，所述倾斜角θ为0°＜θ≤50°。
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公开(公告)号：CN108337904A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201680057946.9
申请日：2016-11-18
申请人： 三美电机株式会社
摘要： 本发明以提供一种可降低传感器配线和驱动配线之间产生的串扰的光扫描模块为目的。本发明的光扫描模块具有使反射镜摆动以对入射光进行扫描的光扫描装置和安装所述光扫描装置的封装体，所述光扫描装置具有对所述反射镜的摆角进行检测的位移传感器，与所述位移传感器连接的传感器配线(PS)和使所述反射镜摆动的驱动信号所经过的驱动配线从所述光扫描装置被引绕至所述封装体内，形成所述传感器配线和所述驱动配线(PD)的配线层(L1、L2)被层叠，所述传感器配线和所述驱动配线在各层的平面图中被配置为不重叠，就相同配线层内的所述传感器配线和所述驱动配线而言，在毗邻的所述传感器配线和所述驱动配线之间设置GND配线(PG)。
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