公开(公告)号：CN107533221B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201680024786.8

申请日：2016-04-22

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 吉田幸弘 ,  竹中恒词 ,  阿贺寿典

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。

公开(公告)号：CN107533221A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680024786.8

申请日：2016-04-22

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 吉田幸弘 ,  竹中恒词 ,  阿贺寿典

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。