公开(公告)号：CN107884925A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201710791473.1

申请日：2017-09-05

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪 ,  山田司

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/10 ,  G02B26/105

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

公开(公告)号：CN111352234A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201911268724.3

申请日：2019-12-11

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明提供光扫描装置，目的在于抑制扭杆的破损。光扫描装置具有：具有镜反射面的反射镜部；以及将上述反射镜部从两侧支撑并使之摆动的扭杆，上述扭杆由表面露出的状态的硅活性层形成。形成上述扭杆的上述硅活性层是上表面、下表面以及侧面露出的状态。上述镜反射面形成于上述硅活性层的上述扭杆以外的区域。

公开(公告)号：CN111352234B

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN201911268724.3

申请日：2019-12-11

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明提供光扫描装置，目的在于抑制扭杆的破损。光扫描装置具有：具有镜反射面的反射镜部；以及将上述反射镜部从两侧支撑并使之摆动的扭杆，上述扭杆由表面露出的状态的硅活性层形成。形成上述扭杆的上述硅活性层是上表面、下表面以及侧面露出的状态。上述镜反射面形成于上述硅活性层的上述扭杆以外的区域。

公开(公告)号：CN103036471B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210379990.5

申请日：2012-09-29

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 关根久通 ,  阿贺寿典 ,  丸山佑纪

IPC: H02N2/00 ,  H01L41/04 ,  H01L41/09 ,  G02B26/10

CPC classification number: H01L41/0475 ,  G02B26/0858 ,  H01L41/0805

Abstract: 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。

公开(公告)号：CN107884925B

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN201710791473.1

申请日：2017-09-05

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪 ,  山田司

IPC: G02B26/10

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

公开(公告)号：CN104423035B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201410419597.3

申请日：2014-08-22

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪 ,  阿部美里

IPC: G02B26/08 ,  G02B5/08 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14

CPC classification number: G02B26/105 ,  G02B26/0858

Abstract: 本发明提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。本光扫描装置是使反射镜摆动而扫描入射的可见光的光扫描装置，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜。

公开(公告)号：CN104423035A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410419597.3

申请日：2014-08-22

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪 ,  阿部美里

IPC: G02B26/08 ,  G02B5/08 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14

CPC classification number: G02B26/105 ,  G02B26/0858

Abstract: 本发明提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。本光扫描装置是使反射镜摆动而扫描入射的可见光的光扫描装置，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜。

公开(公告)号：CN103036471A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210379990.5

申请日：2012-09-29

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 关根久通 ,  阿贺寿典 ,  丸山佑纪

IPC: H02N2/00 ,  H01L41/04 ,  H01L41/09 ,  G02B26/10

CPC classification number: H01L41/0475 ,  G02B26/0858 ,  H01L41/0805

Abstract: 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。