公开(公告)号：CN1577083A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410059845.4

申请日：2004-06-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金仁晟 ,  金淏哲

IPC: G03F1/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F1/20 ,  Y10S430/143

Abstract: 一种模版掩模，包括具有膜片区和限制膜片区的边界区的膜片形成薄层。膜片区具有多个图形区和非图形区，图形区包括可以透过粒子束的孔，非图形区插入在图形区之间。主支柱支撑膜片区并形成在膜片形成薄层的边界区上。在膜片图形区内部的非图形区中形成辅助支柱，以致辅助支柱将膜片区分为多个分开的膜片区。辅助支柱支撑分开的膜片区。

公开(公告)号：CN113109938A

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202011384130.1

申请日：2020-12-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金度亨 ,  洪成哲 ,  姜京植 ,  金仁晟 ,  坂井基志 ,  S.李 ,  李贞彻

IPC: G02B26/08 ,  H05G2/00

Abstract: 极紫外光源的激光束传递设备可包括：高功率种子模块，其被配置为生成激光束；功率放大器，其被配置为放大由高功率种子模块生成的激光束；束传输模块，其被配置为收集和移动由功率放大器放大的激光束；最终聚焦组装光学平台，其被配置为调节由束传输模块收集和移动的激光束的焦点；以及聚焦单元，其被配置为采用由最终聚焦组装光学平台调节的焦点将激光束聚焦至目标微滴。功率放大器可以包括位置调节器，该位置调节器被配置为调节激光束的位置。位置调节器可以包括具有平坦表面的折射板。功率放大器可以包括指向调节器，该指向调节器可以包括镜。

公开(公告)号：CN113777889A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110284405.2

申请日：2021-03-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金度亨 ,  洪成哲 ,  金仁晟 ,  朴珍洪 ,  李贞彻

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 公开了半导体制造装置及其操作方法。半导体制造装置包括振荡单元和极紫外生成单元，振荡单元包括第一种子激光器、第二种子激光器和种子模块，其中，第一种子激光器使第一脉冲振荡，并且其中，第二种子激光器使第二脉冲振荡，并且极紫外生成单元被配置为使用第一脉冲和第二脉冲生成极紫外光。种子模块包括多个反射镜以及脉冲控制光学系统，多个反射镜被配置为使第一脉冲和第二脉冲分别沿着第一路径和第二路径行进，并且脉冲控制光学系统包括第一光学元件、第二光学元件和第三光学元件。脉冲控制光学系统在不与第一路径重叠的第二路径上。第三光学元件包括第一光学元件与第二光学元件之间的透镜。

公开(公告)号：CN1577083B

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200410059845.4

申请日：2004-06-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金仁晟 ,  金淏哲

IPC: G03F1/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F1/20 ,  Y10S430/143

Abstract: 一种模版掩模，包括具有膜片区和限制膜片区的边界区的膜片形成薄层。膜片区具有多个图形区和非图形区，图形区包括可以透过粒子束的孔，非图形区插入在图形区之间。主支柱支撑膜片区并形成在膜片形成薄层的边界区上。在膜片图形区内部的非图形区中形成辅助支柱，以致辅助支柱将膜片区分为多个分开的膜片区。辅助支柱支撑分开的膜片区。