公开(公告)号：CN110113855B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN201811373497.6

申请日：2018-11-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李炫周 ,  姜京植 ,  林智贤

IPC: H05G2/00

Abstract: 提供了一种极紫外(EUV)产生装置。该EUV产生装置包括：气体单元壳体，在第一方向上延伸；导光通道，在第一方向上延伸穿过气体单元壳体；以及气体供应通道，供应等离子体反应气体。导光通道包括：入射部分，接收入射光；等离子体反应部分，在第一方向上从入射部分延伸，以由于入射光与等离子体反应气体之间的相互作用而产生EUV光；以及发射部分，在第一方向上从等离子体反应部分延伸，以在第一方向上发射EUV光。气体供应通道可以在气体单元壳体的侧面处连接到等离子体反应部分，并且可以相对于第一方向以锐角倾斜。

公开(公告)号：CN113109938A

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202011384130.1

申请日：2020-12-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金度亨 ,  洪成哲 ,  姜京植 ,  金仁晟 ,  坂井基志 ,  S.李 ,  李贞彻

IPC: G02B26/08 ,  H05G2/00

Abstract: 极紫外光源的激光束传递设备可包括：高功率种子模块，其被配置为生成激光束；功率放大器，其被配置为放大由高功率种子模块生成的激光束；束传输模块，其被配置为收集和移动由功率放大器放大的激光束；最终聚焦组装光学平台，其被配置为调节由束传输模块收集和移动的激光束的焦点；以及聚焦单元，其被配置为采用由最终聚焦组装光学平台调节的焦点将激光束聚焦至目标微滴。功率放大器可以包括位置调节器，该位置调节器被配置为调节激光束的位置。位置调节器可以包括具有平坦表面的折射板。功率放大器可以包括指向调节器，该指向调节器可以包括镜。

公开(公告)号：CN110113855A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201811373497.6

申请日：2018-11-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李炫周 ,  姜京植 ,  林智贤

IPC: H05G2/00

Abstract: 提供了一种极紫外(EUV)产生装置。该EUV产生装置包括：气体单元壳体，在第一方向上延伸；导光通道，在第一方向上延伸穿过气体单元壳体；以及气体供应通道，供应等离子体反应气体。导光通道包括：入射部分，接收入射光；等离子体反应部分，在第一方向上从入射部分延伸，以由于入射光与等离子体反应气体之间的相互作用而产生EUV光；以及发射部分，在第一方向上从等离子体反应部分延伸，以在第一方向上发射EUV光。气体供应通道可以在气体单元壳体的侧面处连接到等离子体反应部分，并且可以相对于第一方向以锐角倾斜。