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发明公开
用于极紫外光源的激光束传递设备审中-实审

公开(公告)号：CN113109938A

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202011384130.1

申请日：2020-12-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金度亨 , 洪成哲 , 姜京植 , 金仁晟 , 坂井基志 , S.李 , 李贞彻

IPC: G02B26/08 , H05G2/00

Abstract: 极紫外光源的激光束传递设备可包括：高功率种子模块，其被配置为生成激光束；功率放大器，其被配置为放大由高功率种子模块生成的激光束；束传输模块，其被配置为收集和移动由功率放大器放大的激光束；最终聚焦组装光学平台，其被配置为调节由束传输模块收集和移动的激光束的焦点；以及聚焦单元，其被配置为采用由最终聚焦组装光学平台调节的焦点将激光束聚焦至目标微滴。功率放大器可以包括位置调节器，该位置调节器被配置为调节激光束的位置。位置调节器可以包括具有平坦表面的折射板。功率放大器可以包括指向调节器，该指向调节器可以包括镜。

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