包括金属绝缘体转换材料的晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN1862831B

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN200610081819.0

    申请日:2006-05-12

    CPC classification number: H01L49/003

    Abstract: 提供了一种包括金属绝缘体转换材料的晶体管及其制造方法。所述包括金属绝缘体转换材料的晶体管包括:衬底;形成于所述衬底上的绝缘层;在所述绝缘层上彼此分开形成的源极区和漏极区;分别形成于所述源极区和所述漏极区的表面上的隧穿势垒层;形成于所述隧穿势垒层和所述绝缘层上的金属绝缘体转换材料层;堆叠在所述金属绝缘体转换材料层上的介电层;以及形成于所述介电层上的栅电极层,其中,根据所述源极区和所述漏极区之间的电势差将所述金属绝缘体转换材料层从金属变成绝缘体或者反之。

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