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公开(公告)号:CN102446863A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201110306691.4
申请日:2011-10-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/98 , H01L21/56 , H01L25/00 , H01L25/065 , H01L23/31
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/561 , H01L21/563 , H01L21/568 , H01L21/6835 , H01L23/291 , H01L23/3121 , H01L23/481 , H01L24/02 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L24/97 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/02372 , H01L2224/024 , H01L2224/0401 , H01L2224/0557 , H01L2224/13023 , H01L2224/13024 , H01L2224/13025 , H01L2224/16146 , H01L2224/16225 , H01L2224/17181 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/81005 , H01L2224/83005 , H01L2224/83104 , H01L2224/94 , H01L2224/95001 , H01L2224/97 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2225/06565 , H01L2225/06568 , H01L2924/00014 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01025 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01044 , H01L2924/01047 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/1434 , H01L2924/15311 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/1811 , H01L2924/18161 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00 , H01L2224/05552
Abstract: 本发明提供一种半导体封装件及其制造方法。一种形成具有大容量和减小或最小化的体积的半导体封装件的方法包括以下步骤:利用粘结层将半导体基底附接在支撑基底上,其中,半导体基底包括多个第一半导体芯片和芯片切割区域;在多个第一半导体芯片中的第一个和第二个之间形成具有第一切口宽度的第一切割凹槽,从而将半导体基底分成多个第一半导体芯片;将分别与第一半导体芯片对应的多个第二半导体芯片附接到多个第一半导体芯片;形成模塑层以填充第一切割凹槽;在模塑层中形成具有比第一切口宽度小的第二切口宽度的第二切割凹槽,以将模塑层分成覆盖多个第一半导体芯片中的一个和多个第二半导体芯片中的相应的一个的各个模塑层。
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公开(公告)号:CN102446863B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201110306691.4
申请日:2011-10-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/98 , H01L21/56 , H01L25/00 , H01L25/065 , H01L23/31
CPC classification number: H01L23/49811 , H01L21/561 , H01L21/563 , H01L21/568 , H01L21/6835 , H01L23/291 , H01L23/3121 , H01L23/481 , H01L24/02 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L24/97 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2224/02372 , H01L2224/024 , H01L2224/0401 , H01L2224/0557 , H01L2224/13023 , H01L2224/13024 , H01L2224/13025 , H01L2224/16146 , H01L2224/16225 , H01L2224/17181 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/81005 , H01L2224/83005 , H01L2224/83104 , H01L2224/94 , H01L2224/95001 , H01L2224/97 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2225/06565 , H01L2225/06568 , H01L2924/00014 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01025 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01044 , H01L2924/01047 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/1434 , H01L2924/15311 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/1811 , H01L2924/18161 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00 , H01L2224/05552
Abstract: 本发明提供一种半导体封装件及其制造方法。一种形成具有大容量和减小或最小化的体积的半导体封装件的方法包括以下步骤:利用粘结层将半导体基底附接在支撑基底上,其中,半导体基底包括多个第一半导体芯片和芯片切割区域;在多个第一半导体芯片中的第一个和第二个之间形成具有第一切口宽度的第一切割凹槽,从而将半导体基底分成多个第一半导体芯片;将分别与第一半导体芯片对应的多个第二半导体芯片附接到多个第一半导体芯片;形成模塑层以填充第一切割凹槽;在模塑层中形成具有比第一切口宽度小的第二切口宽度的第二切割凹槽,以将模塑层分成覆盖多个第一半导体芯片中的一个和多个第二半导体芯片中的相应的一个的各个模塑层。
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