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公开(公告)号:CN101886266B
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201010183534.4
申请日:2010-05-14
CPC分类号: C23F1/26 , C23F1/18 , H01L21/32134 , H01L27/124 , H01L29/458
摘要: 本发明披露了一种蚀刻剂和使用蚀刻剂制造阵列基板的方法。该蚀刻剂包括按重量计大约0.1%至按重量计大约30%的过硫酸铵(NH4)2S2O8、按重量计大约0.1%至按重量计大约10%的无机酸、按重量计大约0.1%至按重量计大约10%的乙酸盐、按重量计大约0.01%至按重量计大约5%的含氟化合物、按重量计大约0.01%至按重量计大约5%的磺酸化合物、按重量计大约0.01%至按重量计大约2%的唑化合物、以及余量的水。这样,蚀刻剂可以具有高稳定性以保持蚀刻能力。因此,可以提高制造裕度,使得可以降低制造成本。
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公开(公告)号:CN101886266A
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN201010183534.4
申请日:2010-05-14
CPC分类号: C23F1/26 , C23F1/18 , H01L21/32134 , H01L27/124 , H01L29/458
摘要: 本发明披露了一种蚀刻剂和使用蚀刻剂制造阵列基板的方法。该蚀刻剂包括按重量计大约0.1%至按重量计大约30%的过硫酸铵(NH4)2S2O8、按重量计大约0.1%至按重量计大约10%的无机酸、按重量计大约0.1%至按重量计大约10%的乙酸盐、按重量计大约0.01%至按重量计大约5%的含氟化合物、按重量计大约0.01%至按重量计大约5%的磺酸化合物、按重量计大约0.01%至按重量计大约2%的唑化合物、以及余量的水。这样,蚀刻剂可以具有高稳定性以保持蚀刻能力。因此,可以提高制造裕度,使得可以降低制造成本。
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公开(公告)号:CN101424888A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810174803.3
申请日:2008-10-31
申请人: 东进世美肯株式会社
摘要: 本发明提供光致抗蚀剂剥离用组合物、使用该组合物的光致抗蚀剂剥离方法和显示装置的制造方法,该光致抗蚀剂剥离用组合物能够再次使用而剥离性能没有实质性降低并且金属图案没有损伤,从而能够减少照相蚀刻工序的成本。本发明中的光致抗蚀剂剥离用组合物含有80重量%~98.5重量%砜系化合物、1重量%~10重量%内酯系化合物以及0.1重量%~5重量%烷基磺酸。
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公开(公告)号:CN101398639A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200810211419.6
申请日:2008-09-22
IPC分类号: G03F7/42
CPC分类号: G03F7/425
摘要: 本发明提供了一种剥离组合物和剥离方法,其能够容易地剥离在基板上形成的颜色抗蚀剂或有机绝缘薄膜以当在基板上形成滤色片或有机绝缘薄膜过程中发现缺陷时重新使用该基板。在一种具体实施方式中,剥离组合物包括约0.5至约45wt%的氢氧化合物、约10至约89wt%的烷撑二醇烷基醚化合物、约5至约45wt%的链烷醇胺化合物、以及约0.01至约5wt%的无机盐化合物。有利地,剥离过程可以在不损坏下基板的薄膜晶体管同时除去颜色抗蚀剂或有机绝缘薄膜的情况下实施。
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公开(公告)号:CN110096171A
公开(公告)日:2019-08-06
申请号:CN201910086529.2
申请日:2019-01-29
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: G06F3/041
摘要: 提供了一种触摸面板。该触摸面板包括:感测电极,分别连接到感测线并且以包括在第一方向上的列和在垂直于第一方向的第二方向上的行的矩阵形式布置;垫电极,分别连接到垫线并且布置在第二方向上,垫电极的布置中心与在第二方向上的感测电极的行的中心对应;以及路径确定单元,连接感测线和垫线,垫电极包括:中心垫电极;左垫电极;以及右垫电极,垫线包括:中心垫线,从中心垫电极延伸;左垫线,从左垫电极延伸;以及右垫线,从右垫电极延伸。
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公开(公告)号:CN101447490B
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN200810173348.5
申请日:2008-11-13
申请人: 三星显示有限公司
发明人: 金彰洙 , 宁洪龙 , 金俸均 , 朴弘植 , 金时烈 , 郑敞午 , 金湘甲 , 尹在亨 , 李禹根 , 裴良浩 , 尹弼相 , 郑钟铉 , 洪瑄英 , 金己园 , 李炳珍 , 李永旭 , 金钟仁 , 金炳范 , 徐南锡
IPC分类号: H01L27/12 , H01L23/522 , H01L21/84 , H01L21/768
CPC分类号: G02F1/13458 , G02F1/136286 , G02F2001/136295 , H01L27/1218 , H01L27/124 , H01L27/1288
摘要: 一种阵列基板,其中栅极线包括形成在基部基板上的第一种子层和形成在所述第一种子层上的第一金属层。第一绝缘层形成在所述基部基板上。第二绝缘层形成在所述基部基板上。在这里,线沟槽沿与所述栅极线相交叉的方向穿过所述第二绝缘层形成。数据线包括形成在所述线沟槽下的第二种子层和形成在所述线沟槽中的第二金属层。像素电极形成在所述基部基板的像素区域。因此,使用绝缘层来形成预定深度的沟槽,并且通过电镀方法形成金属层,从而能够形成具有足够厚度的金属线。本发明还提供了一种阵列基板制造方法。
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公开(公告)号:CN110058713A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201811501439.7
申请日:2018-12-10
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 提供了一种显示装置和一种驱动该显示装置的方法。在沿折叠轴可折叠的显示装置中,该显示装置包括:显示面板,被构造为在显示区域处显示图像;以及触摸单元,被构造为在显示区域处感测触摸输入,并且感测显示装置的折叠状态。触摸单元包括:多个第一传感器,以矩阵形式布置在同一平面上;以及第二传感器,与折叠轴叠置,第二传感器包括导线,导线的至少一部分弯曲。
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