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公开(公告)号：CN107978559B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710798621.2
申请日：2017-09-07
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种显示装置及其制造方法，所述方法包括：在基底上形成有源层；形成覆盖有源层的第一绝缘层；在第一绝缘层上形成栅极金属线；形成覆盖栅极金属线并且包括氧化硅的第三绝缘层；在第三绝缘层上形成包括氮化硅的第四绝缘层；在第四绝缘层上形成包括氧化硅的第五绝缘层；在有源层和栅极金属线叠置的区域上方布置阻挡构件；通过在第五绝缘层中掺杂氮离子形成第五辅助绝缘层；通过去除第五绝缘层的第五主绝缘层的不与第五辅助绝缘层叠置的部分使第四绝缘层的上表面的一部分暴露。
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公开(公告)号：CN109087920A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201810605594.7
申请日：2018-06-13
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L27/12 , H01L21/28 , H01L29/423 , H01L27/32
Abstract: 提供了一种薄膜晶体管(TFT)阵列基底、包括其的显示装置及制造其的方法。该TFT阵列基底包括基础基底、设置在基础基底上的半导体层、设置在半导体层上的绝缘层以及设置在绝缘层上的栅电极。绝缘层的在基础基底的平面图中与半导体层叠置的部分的顶表面同栅电极的顶表面被设置在同一水平上。
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公开(公告)号：CN107731852A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710690882.2
申请日：2017-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
CPC classification number: H01L27/1285 , H01L21/02532 , H01L21/02658 , H01L21/02675 , H01L21/02697 , H01L21/30625 , H01L21/31053 , H01L21/3212 , H01L21/76834 , H01L27/1222 , H01L27/127 , H01L29/66757 , H01L29/78672 , H01L29/7869 , H01L29/78696 , H01L27/3244 , H01L2227/323
Abstract: 一种制造晶体管显示面板的方法以及晶体管显示面板，所述方法包括在基板上形成多晶硅层；通过图案化所述多晶硅层形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。
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公开(公告)号：CN107425037A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710362545.0
申请日：2017-05-22
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L27/32
CPC classification number: H01L27/323 , G06F3/0412 , G06F3/044 , G06F3/046 , H01L27/3244 , H01L51/5246 , H01L51/5253 , H01L51/5281 , H01L51/5284 , H01L2251/5338 , H01L27/3225 , H01L27/3232
Abstract: 一种显示装置包括：显示面板层，其包括显示区域和第二非发光区域，显示区域包括多个发光区域和第一非发光区域，第一非发光区域在发光区域的每个周围，第二非发光区域在显示区域外部；窗口涂层，其直接在显示面板层的第一表面上；以及第一防卷曲图案，其接触窗口涂层并且当在俯视图中被观察时重叠第一非发光区域和第二非发光区域中的至少一个。第一防卷曲图案被构造为防止窗口涂层卷曲。
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公开(公告)号：CN107731852B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201710690882.2
申请日：2017-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 一种制造晶体管显示面板的方法以及晶体管显示面板，所述方法包括在基板上形成多晶硅层；通过图案化所述多晶硅层形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107425037B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201710362545.0
申请日：2017-05-22
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H10K59/80
Abstract: 一种显示装置包括：显示面板层，其包括显示区域和第二非发光区域，显示区域包括多个发光区域和第一非发光区域，第一非发光区域在发光区域的每个周围，第二非发光区域在显示区域外部；窗口涂层，其直接在显示面板层的第一表面上；以及第一防卷曲图案，其接触窗口涂层并且当在俯视图中被观察时重叠第一非发光区域和第二非发光区域中的至少一个。第一防卷曲图案被构造为防止窗口涂层卷曲。
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公开(公告)号：CN107717713B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201710691541.7
申请日：2017-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本公开提供了一种基底抛光系统和使用该基底抛光系统的基底抛光方法，该基底抛光系统包括：抛光机和基底输送器。抛光机包括：下表面板，安装有基底；以及上表面板，面对下表面板并且与下表面板协作抛光基底，上表面板具有比安装在下表面板上的基底的面积大的面积。基底输送器与抛光机相邻，并且在第一方向上将基底输送到抛光机并从抛光机输送基底，基底输送器在抛光基底之前将基底附着到下表面板，并且在抛光基底之后将基底与下表面板分离。
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公开(公告)号：CN107978559A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710798621.2
申请日：2017-09-07
Applicant: 三星显示有限公司
CPC classification number: H01L27/3248 , H01L27/3258 , H01L27/3276 , H01L2227/323 , H01L27/1259 , H01L27/1244 , H01L27/1248
Abstract: 提供了一种显示装置及其制造方法，所述方法包括：在基底上形成有源层；形成覆盖有源层的第一绝缘层；在第一绝缘层上形成栅极金属线；形成覆盖栅极金属线并且包括氧化硅的第三绝缘层；在第三绝缘层上形成包括氮化硅的第四绝缘层；在第四绝缘层上形成包括氧化硅的第五绝缘层；在有源层和栅极金属线叠置的区域上方布置阻挡构件；通过在第五绝缘层中掺杂氮离子形成第五辅助绝缘层；通过去除第五绝缘层的第五主绝缘层的不与第五辅助绝缘层叠置的部分使第四绝缘层的上表面的一部分暴露。
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公开(公告)号：CN109087920B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201810605594.7
申请日：2018-06-13
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L27/12 , H01L21/28 , H01L29/423 , H10K59/12
Abstract: 提供了一种薄膜晶体管(TFT)阵列基底、包括其的显示装置及制造其的方法。该TFT阵列基底包括基础基底、设置在基础基底上的半导体层、设置在半导体层上的绝缘层以及设置在绝缘层上的栅电极。绝缘层的在基础基底的平面图中与半导体层叠置的部分的顶表面同栅电极的顶表面被设置在同一水平上。
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公开(公告)号：CN108010878A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711056935.1
申请日：2017-10-27
CPC classification number: H01L21/77 , C09K3/14 , C09K3/1454 , H01L27/1259 , H01L27/1262
Abstract: 本公开涉及一种晶体管显示板的制造方法和利用于该方法的研磨浆料。一实施例包括如下的步骤：在基板上形成半导体层；对所述半导体层进行图案化而形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘膜；研磨所述第一绝缘膜而暴露所述有缘层；形成覆盖所述第一绝缘膜和所述有缘层的第二绝缘膜，其中，研磨所述第一绝缘膜而暴露所述有缘层的步骤利用研磨浆料执行，所述研磨浆料包括研磨粒子、分散剂、分散稳定剂、非离子型研磨抑制剂和pH调节剂。
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