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公开(公告)号：CN107717713A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710691541.7
申请日：2017-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
CPC classification number: B24B37/345 , B24B37/10 , B24B53/017 , B24B37/00 , B24B37/11 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B57/02
Abstract: 本公开提供了一种基底抛光系统和使用该基底抛光系统的基底抛光方法，该基底抛光系统包括：抛光机和基底输送器。抛光机包括：下表面板，安装有基底；以及上表面板，面对下表面板并且与下表面板协作抛光基底，上表面板具有比安装在下表面板上的基底的面积大的面积。基底输送器与抛光机相邻，并且在第一方向上将基底输送到抛光机并从抛光机输送基底，基底输送器在抛光基底之前将基底附着到下表面板，并且在抛光基底之后将基底与下表面板分离。
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公开(公告)号：CN107717713B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201710691541.7
申请日：2017-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本公开提供了一种基底抛光系统和使用该基底抛光系统的基底抛光方法，该基底抛光系统包括：抛光机和基底输送器。抛光机包括：下表面板，安装有基底；以及上表面板，面对下表面板并且与下表面板协作抛光基底，上表面板具有比安装在下表面板上的基底的面积大的面积。基底输送器与抛光机相邻，并且在第一方向上将基底输送到抛光机并从抛光机输送基底，基底输送器在抛光基底之前将基底附着到下表面板，并且在抛光基底之后将基底与下表面板分离。
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公开(公告)号：CN111906671B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202010377709.9
申请日：2020-05-07
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B24B29/02 , B24B27/00 , B24B41/00 , B24B41/06 , B24B55/06 , B24B55/12 , B24B57/02 , H01L21/67 , H10K71/00
Abstract: 本公开涉及用于制造显示装置的制造装置和制造显示装置的方法。所述用于制造显示装置的制造装置包括：抛光器，在所述抛光器处，抛光材料被供应至所述显示装置的基础构件，并且所述基础构件利用所述抛光材料被抛光以提供具有抛光表面的抛光基础构件；输送器，所述抛光基础构件从所述抛光器被提供至所述输送器，并且所述抛光基础构件从所述输送器被传送至所述制造装置的外部；以及抽吸单元，所述抽吸单元对应于所述输送器设置，并且通过所述抽吸单元，所述输送器周围的压力被提供为低于所述制造装置的其余部分处的压力。
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公开(公告)号：CN111906671A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010377709.9
申请日：2020-05-07
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: B24B29/02 , B24B27/00 , B24B41/00 , B24B41/06 , B24B55/06 , B24B55/12 , B24B57/02 , H01L21/67 , H01L51/56
Abstract: 本公开涉及用于制造显示装置的制造装置和制造显示装置的方法。所述用于制造显示装置的制造装置包括：抛光器，在所述抛光器处，抛光材料被供应至所述显示装置的基础构件，并且所述基础构件利用所述抛光材料被抛光以提供具有抛光表面的抛光基础构件；输送器，所述抛光基础构件从所述抛光器被提供至所述输送器，并且所述抛光基础构件从所述输送器被传送至所述制造装置的外部；以及抽吸单元，所述抽吸单元对应于所述输送器设置，并且通过所述抽吸单元，所述输送器周围的压力被提供为低于所述制造装置的其余部分处的压力。
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