公开(公告)号：CN110625530B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN201910536195.4

申请日：2019-06-20

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 姜胜培 ,  裵俊和 ,  梁熙星 ,  曺雨辰 ,  秋秉权

IPC: B24B57/02 ,  B24B37/04 ,  B24B37/10 ,  B24B27/00

Abstract: 提供了基板抛光设备。基板抛光设备包括台、按压单元、旋转单元、多个抛光垫和喷嘴部分，其中：台配置成装载基板，台具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，且基板装载在平坦表面上；按压单元配置成在第三方向上于基板上施加压力；旋转单元配置成使按压单元在平面图中观察时围绕平行于第三方向的中心轴绕转；多个抛光垫设置在按压单元与基板之间以与基板接触；以及喷嘴部分配置成将浆料供应到基板上。抛光垫可以在一个方向上彼此间隔开并且可以在平面图中具有矩形形状。

公开(公告)号：CN107731852B

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN201710690882.2

申请日：2017-08-14

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 裵俊和 ,  秋秉权 ,  姜秉薰 ,  曺雨辰 ,  赵玹辰 ,  千俊赫 ,  李智炫

IPC: H01L27/12 ,  H10K59/12 ,  H10K71/00 ,  H01L21/77

Abstract: 一种制造晶体管显示面板的方法以及晶体管显示面板，所述方法包括在基板上形成多晶硅层；通过图案化所述多晶硅层形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。

公开(公告)号：CN109801843A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201810631604.4

申请日：2018-06-19

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 赵玹辰 ,  裵俊和 ,  秋秉权 ,  姜胜培 ,  梁熙星 ,  曹雨辰

IPC: H01L21/321 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种去除激光晶化突起的装置，根据一实施例的去除激光晶化突起的装置包括：第一旋转板，布置有包括多晶硅层的显示面板；第二旋转板，与所述第一旋转板相向，并研磨所述多晶硅层的激光晶化突起；研磨监视部，与所述第二旋转板连接，并与所述第二旋转板一起旋转；以及分光器，连接于所述研磨监视部。

公开(公告)号：CN109801843B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN201810631604.4

申请日：2018-06-19

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 赵玹辰 ,  裵俊和 ,  秋秉权 ,  姜胜培 ,  梁熙星 ,  曹雨辰

IPC: H01L21/321 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种去除激光晶化突起的装置，根据一实施例的去除激光晶化突起的装置包括：第一旋转板，布置有包括多晶硅层的显示面板；第二旋转板，与所述第一旋转板相向，并研磨所述多晶硅层的激光晶化突起；研磨监视部，与所述第二旋转板连接，并与所述第二旋转板一起旋转；以及分光器，连接于所述研磨监视部。

公开(公告)号：CN114156320A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111049887.X

申请日：2021-09-08

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 秋秉权 ,  姜胜培 ,  姜奉求 ,  金泰俊 ,  朴廷敏 ,  裵俊和 ,  梁熙星 ,  曹雨辰

IPC: H01L27/32

Abstract: 本申请提供了显示装置的制造方法。根据实施方式的显示装置包括：基板；设置在基板上的晶体管；设置在基板上且连接到晶体管的发光二极管；和设置在晶体管和发光二极管之间的钝化层，其中钝化层的表面台阶在1nm至30nm的范围内。

公开(公告)号：CN110317538A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910183579.2

申请日：2019-03-12

Applicant: 三星显示有限公司 ,  优备材料有限公司

Inventor： 赵玹辰 ,  裵俊和 ,  秋秉权 ,  曹雨辰 ,  朴珍亨

IPC: C09G1/02 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明涉及抛光浆料和使用抛光浆料抛光基板的方法。抛光浆料包括研磨材料、第一氧化物抛光促进剂、第一氮化物抛光抑制剂和第二氮化物抛光抑制剂。该第一氧化物抛光促进剂包括聚合物类氧化物抛光促进剂。该第一氮化物抛光抑制剂包括阴离子氮化物抛光抑制剂。该第二氮化物抛光抑制剂包括选自阳离子氮化物抛光抑制剂和非离子氮化物抛光抑制剂中的至少一种。

公开(公告)号：CN109087920A

公开(公告)日：2018-12-25

申请号：CN201810605594.7

申请日：2018-06-13

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 秋秉权 ,  裵俊和 ,  赵玹辰 ,  千俊赫 ,  尹智莲 ,  曹雨辰 ,  崔成焕 ,  崔贞惠

IPC: H01L27/12 ,  H01L21/28 ,  H01L29/423 ,  H01L27/32

Abstract: 提供了一种薄膜晶体管(TFT)阵列基底、包括其的显示装置及制造其的方法。该TFT阵列基底包括基础基底、设置在基础基底上的半导体层、设置在半导体层上的绝缘层以及设置在绝缘层上的栅电极。绝缘层的在基础基底的平面图中与半导体层叠置的部分的顶表面同栅电极的顶表面被设置在同一水平上。

公开(公告)号：CN118695650A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410173277.8

申请日：2024-02-07

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 金荣绿 ,  曺雨辰 ,  裵俊和 ,  申琇景 ,  梁熙星

IPC: H10K59/12 ,  H10K59/122 ,  H10K59/124

Abstract: 提供了显示设备和显示设备的制造方法。显示设备包括：有机绝缘层，该有机绝缘层定位在衬底上并且包括第一开口、第二开口和第三开口；第一像素电极和第二像素电极，该第一像素电极和第二像素电极定位在有机绝缘层上并且分别布置在第一开口和第二开口中；像素限定膜，该像素限定膜定位在有机绝缘层上并且朝向第三开口突出超过有机绝缘层；第一中间层和第二中间层，该第一中间层和第二中间层分别定位在第一像素电极和第二像素电极上；以及相对电极，该相对电极定位在第一中间层和第二中间层上。

公开(公告)号：CN112207709A

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN202010662021.5

申请日：2020-07-10

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 南重建 ,  姜胜培 ,  梁熙星 ,  姜奉求 ,  裵俊和 ,  曺雨辰 ,  秋秉权

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  B24B37/20

Abstract: 本公开涉及一种化学机械抛光设备、一种采用化学机械抛光设备的制造显示装置的方法和化学机械抛光方法，化学机械抛光设备包括：输送带，传送基底；抛光头，设置在输送带上方；以及主体部件，主体部件移动抛光头并且向抛光头供应浆料。抛光头包括：第一抛光部件，包括围绕第一浆料出口的第一抛光垫；以及第二抛光部件，围绕第一抛光部件并且包括第二抛光垫。第二浆料出口形成在第一抛光部件和第二抛光部件之间，并且第一抛光部件和第二抛光部件在基本上垂直于基底的方向上是彼此独立地可移动的。

公开(公告)号：CN106483672B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201610374871.9

申请日：2016-05-31

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 赵珠完 ,  罗正均 ,  李承桓 ,  裵俊和 ,  郑炳昊 ,  秋秉权 ,  奥利格·普鲁德尼科夫

IPC: G02B27/28 ,  B23K26/70 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明涉及一种激光结晶装置。一种激光结晶装置包括：产生包括P偏振分量和S偏振分量的入射激光束的激光发生器；转换入射激光束以产生发射激光束的光学系统；以及其上安装有具有通过被发射激光束照射进行激光结晶的目标薄膜的目标基底的台。光学系统包括：偏移从激光发生器接收的入射激光束的偏振轴方向的至少一个半波片(HWP)；完全反射激光束的至少一个反射镜；以及反射激光束的一部分并透射激光束的另一部分的至少一个偏振分束器(PBS)。