用于测量依赖于时间的电介质击穿的系统和方法

    公开(公告)号:CN1997906A

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200580019615.8

    申请日:2005-06-14

    发明人: 铃木信吾

    IPC分类号: G01R31/28 G01R31/26

    摘要: 公开了根据一个实施例的集成电路,其包括耦合到第一环形振荡器模块的第一受测器件(DUT)模块和耦合到第二环形振荡器模块的第二DUT模块。在第一模式期间对第一DUT的电介质层施加应力,从而在第一电介质层中引起依赖于时间的电介质击穿。维持第二DUT的电介质层作为参考。在第二模式期间,第一环形振荡器模块的操作频率是受到应力的电介质层的栅极漏电流的函数。在第二模式期间,第二环形振荡器模块的操作频率是参考电介质层的栅极漏电流的函数。该集成电路还可以包括比较器模块,其用于根据第一环形振荡器模块的操作频率与第二环形振荡器模块的操作频率之间的差值生成输出信号。

    用于测量负偏置温度不稳定性的系统和方法

    公开(公告)号:CN1997905A

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200580019614.3

    申请日:2005-06-14

    发明人: 铃木信吾

    IPC分类号: G01R31/28 G01R31/26

    摘要: 根据本发明一个实施例的集成电路包括耦合到第一环形振荡器模块的第一受测器件(DUT)模块和耦合到第二环形振荡器模块的第二DUT模块。第一DUT模块在第一模式期间被偏置从而生成界面阱。所生成的界面阱造成第一DUT模块的第一驱动电流减少。第二受测器件模块在第一模式期间被偏置以维持参考驱动电流。第一环形振荡器模块的工作频率在第二模式期间是第一驱动电流的函数。第二环形振荡器模块的工作频率在第二模式期间是参考驱动电流的函数。该集成电路还可以包括用于根据第一环形振荡器模块的工作频率和第二环形振荡器模块的工作频率之间的差值来生成输出信号的比较器模块。