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公开(公告)号：CN107042693A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710063636.4
申请日：2017-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种能够抑制电串扰并实现小型化的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件具备流道形成基板(10)和配线基板(30)，所述流道形成基板(10)具备多列压电元件列(150A)，所述压电元件列(150A)具有多个压电元件(150)，流道形成基板(10)具备与各个压电元件列(150A)的压电元件(150)共用的第二电极(80)连接的多个第一共用配线(92)，配线基板(30)具备与多个压电元件列(150A)各自的第一共用配线(92)连接的多个第二共用配线(32)以及被埋设在槽部(330)中的多个辅助配线(33)，辅助配线(33)与第二共用配线(32)分别连接，并且多个辅助配线(33)不相互连接。
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公开(公告)号：CN107020819A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710063629.4
申请日：2017-02-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种可靠性较高的MEMS装置以及液体喷射头。MEMS装置的特征在于，具备：多个可动区域(35)；配线(37)，其从可动区域(35)起沿着第一方向(x)延伸；电极(41)，其与配线(37)连接，电极(41)具有与其他的电极端子(40)连接的连接区域(57)，连接区域(57)沿着与第一方向(x)交叉的第二方向(y)而配置有多个，在第二方向(y)上相邻的连接区域(57)的中心间的距离长于在第二方向(y)上相邻的可动区域(35)的中心间的距离。
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公开(公告)号：CN104044346B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201410088461.9
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/047 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。
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公开(公告)号：CN1841803B
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200610067424.5
申请日：2006-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , B41J2202/11 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供了表现出优异位移特性的压电元件、致动器装置、液体喷射头和液体喷射设备，该压电元件由下电极、压电层和上电极构成，在该压电元件中，压电层的面表面中存在的(100)面的X射线衍射的峰值强度占其中存在的(100)、(110)和(111)面的X射线衍射的峰值强度之和的比例不小于70％，并且其中与压电层的面表面正交的垂直表面中存在的(100)、(110)和(210)面的X射线衍射的峰值强度之和占其中存在的(100)、(110)、(210)、(111)和(211)面的X射线衍射的峰值强度之和的比例不小于80％。
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公开(公告)号：CN101049758A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710091653.5
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种促动器装置，该装置具备：振动板，其包含由设置在衬底上的氧化硅(SiO2)形成的弹性膜；和压电元件，其包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层及上电极；其中，在所述压电元件发生位移的状态下，所述振动板具有给予该压电元件300[MPa]以上500[MPa]以下拉伸应力的应力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1893138A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610098456.1
申请日：2006-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种具有压电体层的致动器装置、液体喷射头以及液体喷射装置，其中该压电体层由抑制了极化方向的变动的、无变形状态的结晶构成。本发明的致动器装置具有：设置在单晶硅基板上的二氧化硅；设置在二氧化硅上的至少一层缓冲层；以及设置在该缓冲层上，由面取向(100)的镍酸镧构成的基底层；并且还具有压电元件，其包括：设置在该基底层上，由面取向(100)的铂构成的下电极；由面取向为(100)取向的铁电体构成的压电体层，其通过外延生长而形成在该下电极上，具有从由正方晶系、单斜晶系、以及菱形晶系构成的组中选出的至少一种晶系相对于其他晶系占主导地位的晶系；以及设置在该压电体层上的上电极。
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公开(公告)号：CN118578781A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410213599.0
申请日：2024-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本公开提供一种提升液体喷出头的喷出效率的液体喷出头以及液体喷出装置。液体喷出头具有：压电元件，其具有第一电极、压电体层和第二电极；压力室基板，其设置有与喷嘴连通的压力室；振动板，其通过利用压电元件的驱动来进行振动，从而向压力室的液体给予压力，压力室基板、振动板以及压电元件按照此顺序而在层叠方向上被层叠，由压电元件以及振动板而构成的层叠体的中性面位于压电体层内，在使压电体层沿着层叠方向而通过中性面来划分出的两个区域之中，当将在层叠方向上相对于中性面而位于下方的区域设为下部区域、并将在层叠方向上相对于中性面而位于上方的区域设为上部区域时，下部区域的压电常数与上部区域的压电常数相比而较小。
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公开(公告)号：CN118514431A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410175475.8
申请日：2024-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本公开提供在液体喷出头中抑制裂纹的发生的同时不会降低振动吸收特性的液体喷出头以及液体喷出装置。液体喷出头具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，第一压力室通过振动板而对液体施加用于从第一喷嘴喷出液体的压力，第一吸收室通过振动板而对从第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将第一压力室和第一吸收室的排列方向设为第一方向时，第一吸收室侧凹部的第一方向上的宽度短于第一吸收室的第一方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN118494020A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410175482.8
申请日：2024-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种即使反复驱动也抑制了液体喷射特性发生劣化的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：基板，其形成有多个与喷射液体的喷嘴连通的压力室；振动板，其被设置在基板的一面侧；压电致动器，其具有从振动板侧起在第一方向上层叠的第一电极、压电体层以及第二电极，在将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为活性部，将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的部分设为非活性部时，压电体层在活性部与非活性部之间连续地设置，非活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径大于活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径。
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