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公开(公告)号：CN1256794A
公开(公告)日：2000-06-14
申请号：CN99800173.2
申请日：1999-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L27/12 , G02F1/136
CPC classification number: H01L27/1266 , G02F2001/13613 , H01L21/6835 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L29/66757 , H01L2221/68318 , H01L2221/6835 , H01L2221/68359 , H01L2221/68363 , H01L2221/68368 , H01L2924/3025 , H01L2924/3511
Abstract: 在基板(100)预先设置分离层(120),在该基板上形成TFT等的薄膜器件(140)。在该薄膜器件(140)的形成过程中,对分离层(120)注入促进剥离用离子、例如氢离子。在薄膜器件(140)的形成后,最好在通过粘接层(160)将薄膜器件(140)接合到转移体(180)后,从基板一侧照射激光。由此,在分离层(120)中利用促进剥离用离子的作用,使剥离发生。使该薄膜器件(140)从基板(100)脱离。由此,可将所希望的薄膜器件转移到任一种基板上。
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公开(公告)号：CN1256791A
公开(公告)日：2000-06-14
申请号：CN99800189.9
申请日：1999-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/00 , H01L21/00 , H01L23/48 , H01L27/0688 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368 , H01L2924/0002 , H01L2924/12044 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的3维器件的制造方法,包括在透光性的基板1上形成分离层2、中间层3和第1被转印层41有机同样在透光性的基板1上形成分离层2、中间层3和第2被转印层42的工序、在与被转印层41的基板1相反侧通过粘接层5将基板(转印侧基板)21接合的工序、向分离层2照射照射光7利用磨蚀在分离层2的层内和/或界面发生剥离从而使被转印层41从基板1上脱离下来转印到基板21上的工序、在与被转印层42的基板1相反侧通过导电性粘接层22将被转印层41接合的工序有机和上述一样向分离层2照射照射光7使被转印层42从基板1上脱离下来从而转印到被转印层41上的工序。
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公开(公告)号：CN1246940A
公开(公告)日：2000-03-08
申请号：CN98802395.4
申请日：1998-12-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06F7/57 , G06F7/535 , G06F7/723 , G06F21/72 , G06F2207/3816 , G06F2207/5353 , G06F2221/2149
Abstract: 对于输入数据依处理步骤进行计算并将求得的结果输出的信息处理系统,此系统包括多个计算单元(7－1～7－x),依据处理步骤以2m(m:自然数)位计算精度执行计算,还包括多个用来级联计算单元的级联终端。当计算中所要求的最大计算精度是2n(n为自然数且是常数)位时,将x个计算单元级联成满足x≥2n/2m(x是自然数)。当计算中所要求的计算精度是2n1(n1≤n,且n1是可变的)位时,将x1个计算单元级联成满足x1≥2n1/2m(x1是自然数且是可变的)。这样,以所需精度执行计算的信息处理系统就易由硬件方式实现。此外,在这种硬件方式下易于提高计算精度。
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公开(公告)号：CN1231065A
公开(公告)日：1999-10-06
申请号：CN98800930.7
申请日：1998-06-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/12 , H01L21/336 , H01L29/786 , G02F1/136
CPC classification number: H01L27/1266 , B23K26/40 , B23K26/57 , B23K2103/172 , G02F1/13454 , G02F1/1362 , H01L21/2007 , H01L21/76264 , H01L21/76275 , H01L21/76283 , H01L21/76289 , H01L27/1214 , H01L29/78603 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368
Abstract: 一种将形成于衬底上的薄膜器件转移到一次转移体上,之后又转移到二次转移体上的薄膜器件制作方法。在激光可透过的衬底(100)上设有如非晶硅等的第1分离层(120)。在该衬底(100)上形成TFT等的薄膜器件(140)。并且,在薄膜器件(140)上形成如热熔性粘合层等第2分离层(160),在其上形成一次转移体(180)。通过光照使第1分离层的内聚力减弱而将衬底(100)去除,并将薄膜器件(140)转移到一次转移体(180)。并且,在露出的薄膜器件(140)的下面通过粘合层(190)粘合二次转移体(200)。于是,通过例如热熔融使第2分离层的内聚力减弱而去除一次转移体。结果,薄膜器件(140)就可保持与衬底(100)的叠层关系原样不变而转移到二次转移体(200)上。
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公开(公告)号：CN1194697A
公开(公告)日：1998-09-30
申请号：CN97190551.7
申请日：1997-05-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/136 , G02F1/1343 , H01L29/786 , B05C5/00 , G02F1/1333 , C01G19/00
CPC classification number: G02F1/136227 , H01L27/12 , H01L27/1285 , H01L27/1292 , H01L29/66757 , H01L29/66765 , Y10T428/1064 , Y10T428/31663
Abstract: 借助于涂敷液体后进行热处理,形成构成TFT的绝缘膜、硅膜及导电膜中的任一种薄膜。利用旋转涂敷器(102),把从涂敷液保管部(105)供给的、包含薄膜成分的液体旋转涂敷到基板上。在热处理部(103)中,对涂敷了涂敷液的基板进行热处理,在基板上形成涂敷膜。进而,进行激光退火等,提高结晶性、致密性、或粘附性中的任一种膜质。借助于以油墨喷射方式涂敷这种涂敷液及保护液,可提高药液的使用效率,并且,可以形成图形化了的涂敷膜。本发明的薄膜器件借助于利用廉价、产量高、涂敷液使用效率高的制造装置来制造TFT,大幅度削减初期投资及液晶显示装置的成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100580946C
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN02811117.6
申请日：2002-12-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/32
CPC classification number: H01L27/3253 , H01L51/524 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 有效制造有机EL显示体。将形成由薄膜晶体管11构成的驱动电路的驱动电路基板(100)和层压透明电极层31、由绝缘物质构成的围堰层32、空穴注入层33、有机EL层34和阴极层36的发光基板(300)贴合，制造发光装置(1000)。
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公开(公告)号：CN100390599C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN99800933.4
申请日：1999-06-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B27/149 , G02B27/1033 , G02B27/1053 , G02B27/1066 , G02B27/144 , G02F1/133609 , G02F2001/133607 , G02F2001/133622 , G09G3/3406 , G09G3/3413 , G09G2310/0235
Abstract: 在分色棱镜101的周边放置有一个由可发出红光的LED 102R阵列组成的红光光源、一个由可发出绿光的LED 102G阵列组成的绿光光源以及一个由可发出蓝光的LED 102B阵列组成的蓝光光源。液晶显示单元被具有使从各光源发出的光被分色棱镜合成为白光的结构设置的光源装置照亮，并且还构成了投影型液晶显示装置及类似器件。
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公开(公告)号：CN100385683C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN00800437.4
申请日：2000-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/208 , H01L21/316 , H01L21/288 , G02F1/1368
CPC classification number: H01L29/66765 , G02F1/1368 , H01L21/02422 , H01L21/02532 , H01L21/02628 , H01L21/288 , H01L21/316 , H01L27/1292 , H01L29/66757
Abstract: 用液体材料形成构成薄膜晶体管的硅膜、绝缘膜、导电膜等的薄膜的全部或一部分。其主要方法，采用先向基板上涂敷液体材料形成涂敷膜，再对该涂敷膜进行热处理的办法，形成所希望的薄膜。所以可以用低价格的装置用低价格制造薄膜晶体管。
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公开(公告)号：CN1897219A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610101859.7
申请日：1997-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/336 , H01L21/84 , G02F1/1368
Abstract: 本发明提供一种剥离方法和相应的转移方法，包括：从基板剥离脱离件，其中：剥离所述脱离件包括以多束连续实施的光束照射；以及以所述多束光束中的第一光束照射的第一区域与以所述多束光束中的第二光束照射的第二区域部分重叠。还提供一种采用所述剥离或转移方法制造薄膜器件的方法。
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公开(公告)号：CN1281191C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN03152678.0
申请日：2003-08-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: A61B5/0002 , A61B5/14546 , B01J2219/00693 , G06F19/00 , G06F19/20 , G06F19/28 , G16H10/40
Abstract: 本发明提供用于对试剂检查装置进行的检查进行控制的控制装置、及其控制方法、控制系统以及控制程序。IJ方式试剂检查装置(3)基于有关输入的检查项目的检查信息对吐出装置发出吐出试剂的指示，从可以拆装的DNA芯片组件(2)进行检查结果的读取，将该检查结果的检查数据与被输入的被检查者识别信息与该当的检查项目一起通过通信线路输出。控制装置(5)通过通信线路从IJ方式试剂检查装置(3)与检查项目及其检查数据一起接收被检查者识别信息，与该检查者识别信息建立关联并存储该检查项目和该检查数据，进行基于该检查数据的诊断的委托。
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