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公开(公告)号：CN102169287B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110144874.0
申请日：2011-05-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种光刻掩膜版及其制备方法，该光刻掩膜版包括衬底，在衬底的一面附着有通过等离子加强化学气相淀积方法生长而成SiC薄膜，在SiC薄膜上具有光刻模版图形，位于光刻模版图形下的衬底部分被去除，使光刻模版图形区域悬空。该掩膜版的应力在0～100MPa，且具有非常好的耐腐蚀性，将其应用于模版光刻技术，替代传统的光刻胶光刻工艺。
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公开(公告)号：CN102627256A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210111788.4
申请日：2012-04-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 基于微纳集成加工技术的三维减阻微流道结构及制备方法，涉及微加工技术领域。利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，增大其表面积和体积比；同时可在其表面淀积一层氟基聚合物，降低表面能，实现具有超疏水特性的表面结构，进而实现真正三维减阻微流道结构。本发明的有益效果：在不破坏原有微米尺度结构的基础上，生长高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，可实现纳米森林对微米尺度沟槽的100％覆盖，从而实现真正的三维减阻微流道。可以极大地提高其面积体积比，降低表面能，使得微流道表面具有超疏水特性，从而实现优异减阻的效果。工艺简单，成本低廉，易于产业化。
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公开(公告)号：CN102110724A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010543469.1
申请日：2010-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L31/18 , B82Y40/00 , C23F1/12
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种双面微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法。其中，太阳能电池包括位于太阳能电池的正面的第一微纳复合结构和位于太阳能电池的背面的第二微纳复合结构；第一微纳复合结构包括在硅基衬底上表面制作的掺杂扩散层、在掺杂扩散层上腐蚀获取的正面微米尺度吸光层；以及在正面微米尺度吸光层上刻蚀获得的正面纳米尺度黑硅减反射层；第二微纳复合结构包括在硅基衬底下表面上腐蚀获取的背面微米尺度吸光层；以及在背面微米尺度吸光层上刻蚀获得的背面纳米尺度黑硅减反射层。本发明解决了传统黑硅太阳能电池结构中，将黑硅材料层代替微米尺度吸光层，虽然拓展了对太阳光谱的吸收范围，但转化效率低的问题。
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公开(公告)号：CN101229432B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200810000930.1
申请日：2008-01-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种动作仿真控制方法及其系统，其方法为利用信号采集器采集运动对象的运动信息，将其转换为动作图形后与定义的动作图形进行匹配，发送匹配成功的动作图形对应的控制指令控制游戏中的角色动作，实现仿真；本发明的一种动作仿真控制系统包括一硬件系统用于动作信息的采集和传输，一软件系统，用于动作信息的处理。本发明的仿真系统不仅可靠性强，成本低，而且体积小，设计灵活。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101881881A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010199618.7
申请日：2010-06-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变光衰减器件及其制备方法，该器件包括：硅基座以及与所述硅基座键合的玻璃基座，所述硅基座设置有垂直光反射面、以及以所述光反射面为一侧面的加热空腔，所述加热空腔与所述玻璃基座的部分上表面围成密封腔体，在所述密封腔体内的玻璃基座的上表面上设置有加热部件。本发明的可变光衰减器件可满足振动环境中对器件的可靠性要求、成本低、且性能高。
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公开(公告)号：CN108735521B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201810377271.7
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京大学
IPC: H01G11/26 , H01G11/24 , H01G11/30 , H01G11/48 , H01G11/36 , H01G11/56 , H01G11/84 , H01G11/86 , B82Y30/00
Abstract: 本发明提供了一种基于导电弹性体的微型超级电容器及其制造方法。该微型超级电容器包括具有多孔结构的导电弹性体和固态电解质，固态电解质为凝胶聚合物，导电弹性体和固态电解质融合连接。导电弹性体包括聚合物与导电材料的混合物，聚合物包括聚二甲基硅氧烷或者聚苯胺，导电材料包括碳纳米管或者乙烯二氧噻吩单体。凝胶聚合物包括聚乙烯醇与磷酸、硫酸、氯化锂的聚合物。多孔结构通过在填满固化后混合物的PMMA模具中添加溶于水的颗粒诱导形成。本发明的基于导电弹性体的微型超级电容器，采用平面式叉指结构电极，极大的降低了器件厚度，提升了器件柔性，可以更好地与柔性电子器件集成，同时具有多孔比表面积大与碳纳米管高电导性的优势。
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公开(公告)号：CN107941246B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201711104078.8
申请日：2017-11-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种非接触式自驱动电子皮肤，涉及传感器和电子皮肤技术领域，包括有摩擦层薄膜，摩擦层薄膜表面均匀设有若干微结构摩擦单元；隔离保护层，隔离保护层的下表面连接有柔性衬底，柔性衬底与隔离保护层之间夹装有电极；隔离保护层上设有能够使所述摩擦层薄膜在受到外界压力时与所述柔性衬底层相互接触的接触区。本发明可实现多种运动方式的交互传感，接触分离过程使摩擦层薄膜带电，之后摩擦层薄膜可不与隔离保护层、电极、柔性衬底组成的三层结构接触而在其上空滑动，滑动的位移终点坐标可以通过分析电极接收到的电信号得到；采用自驱动的传感方式，制备工艺简单方便，可根据实际需要快捷的调整工艺参数，生产成本低，适于批量生产。
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公开(公告)号：CN108896213A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810377273.6
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种基于多孔导电弹性体的应力传感器及其制作方法。该应力传感器包括：平面电极(1)，具有多孔结构的导电弹性体(2)和平面电极(3)，平面电极(1)与多孔导电弹性体(2)的上表面粘贴连接，平面电极(3)与所述多孔导电弹性体(2)的下表面粘贴连接，平面电极(1)和平面电极(3)作为应力传感器的信号输出端。本发明提出的基于多孔导电弹性体的应力传感器对外界的应力应变可以通过电阻的变化做出准确响应，具有稳定性强可靠度高等优势。同时具有良好的力学与电学性能，并可以通过调节各组成比例间的质量分数、孔径大小与孔隙率，对应力传感器的灵敏度等关键参数进行调控与优化，实现了对外界微小应力准确识别的目标。
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公开(公告)号：CN104635984B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510030512.7
申请日：2015-01-21
Applicant: 北京大学
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/044
Abstract: 本发明涉及种单表面位置传感器及其定位方法,包含衬底层和感应电极;所述感应电极位于所述衬底层上方;传感器还包含摩擦层;摩擦层位于所述衬底层上方;摩擦层位于所述感应电极中间;各独立的所述感应电极通过相同的负载电阻接地;使被测物体与所述摩擦层产生至少次接触和分离,在所述各个负载电阻上产生不同的电压输出;通过分析各个电极电压的比值确定被测物体的位置;本发明的益处为:本发明提出的单表面位置传感器为主动式传感器,相较于传统传感器减少了能量使用;本发明提出的单表面位置传感器可制作为柔性透明薄膜,可广泛应用于便携式电子设备及可穿戴设备;本发明提出的单表面位置传感器工艺简单,成本低,有利于大规模生产。
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