线互连部高度的测量方法
    71.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111883447B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202010330899.9

    申请日:2020-04-24

    Abstract: 通过首先捕获垂直线互连部的俯视图并从该俯视图识别垂直线互连部的尖端的位置,来测量键合到衬底上的垂直线互连部的高度。导电探针位于垂直线互连部的尖端上方,并朝垂直线互连部降低,直到在导电探针和垂直线互连部的尖端之间建立电连接。因此可以确定进行电连接的接触高度,其中接触高度对应于垂直线互连部的高度。

    包含在电子元件处理设备中的力测量装置

    公开(公告)号:CN116698245A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310160640.8

    申请日:2023-02-23

    Abstract: 一种用于测量在将元件键合到元件载体时或在将元件封装时施加到元件上的力的装置,包括可变形部和连接到可变形部的接触杆。可变形部被配置成包含用于检测由于力的施加引起的可变形部的变形程度,以便测量力的传感器。在使用时,接触杆可定位成接触元件或元件载体,使得可变形部在力施加到元件时变形。一个或多个这样的装置可以包括在用于测量所述力的烧结或封装设备中。

    用于校准或测试成像装置的设备和方法

    公开(公告)号:CN111751807B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202010216489.1

    申请日:2020-03-25

    Abstract: 一种成像装置测试系统具有用于接收来自被测成像装置的光的光接收器、用于将光返回到被测成像装置的光发射器以及相对于彼此可移动的第一收发器平台和第二收发器平台。第一收发器平台具有用于接收来自光接收器的光的第一光重定向模块,第二收发器平台具有用于将第一光重定向模块接收的光传输至光发射器的第二光重定向模块。第一光重定向模块和第二光重定向模块可定位为模拟来自光接收器的光经过第一光重定向模块、第二光重定向模块以及第一光重定向模块和第二光重定向模块之间的间隙到达光发射器所行进的距离。

    通过空气顶出从胶带分离芯片
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115223912A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210314453.6

    申请日:2022-03-28

    Abstract: 当从胶带拾取芯片时,拾取臂的夹头定位在芯片上方一定距离处,芯片安装在胶带的第一表面上。接下来,在胶带的与第一表面相对的第二表面上产生气流吹动胶带,以将芯片移向夹头的芯片保持表面。此后,在胶带从芯片分离时,芯片保留在夹头的芯片保持表面上。

    用于包装超小型电子器件的设备

    公开(公告)号:CN110937148B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN201910894872.X

    申请日:2019-09-20

    Inventor: 刘启峰 郑志华

    Abstract: 一种用于将超小型电子器件放置在用于包装的载带上的凹部中的设备,其具有至少一个保持元件,移动机构,输送机构和定位机构。定位机构还包括连接到输送机构的第一和第二定位装置,其中第二定位装置安装在第一定位装置上。在使用中,输送机构输送载带以将每个凹部移动到接收位置,并且移动机构移动每个保持元件以将电子器件放置在接收位置处的相应凹部中。定位机构通过调节载带来调节电子器件与相应凹部之间的相对位置,第一和第二定位装置分别用于对输送机构进行粗略定位和精确定。

    具有角度可调性的自动化颗粒移除系统

    公开(公告)号:CN114226356A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111046855.4

    申请日:2021-09-06

    Abstract: 一种用于从物体表面移除异物颗粒的异物颗粒移除系统,该系统具有夹持颗粒移除工具的工具夹。该颗粒移除工具的尖端具有粘性尖端部分。该粘性尖端部分具有顶点区域和侧面区域,顶点区域位于粘性尖端部分的远端,侧面区域毗邻顶点区域。工具夹保持颗粒移除工具,相对于表面成倾斜角,使得粘性尖端部分的侧面区域面向表面。使用工具夹传送倾斜的颗粒移除工具,使得表面上的异物颗粒与粘性尖端部分的侧面区域接触,并且向表面上施加力以将异物颗粒吸引到侧面区域上。然后,可以将颗粒移除工具与异物颗粒一起从表面提离。

    用于键合臂自动对准的方法和系统

    公开(公告)号:CN108346608B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN201810064053.8

    申请日:2018-01-23

    Abstract: 一种用于在键合过程中将键合臂相对于用于支撑衬底的键合支撑件表面自动地对准方法和实施该方法的系统,该方法包括:通过可移动地联接到键合臂的键合头使键合臂围绕纵轴旋转第一转,所述第一转包括多个预定旋转角度位置;在多个旋转角度位置中的每个旋转角度位置处暂停键合臂的旋转;确定在相应旋转角度位置处的每个暂停期间键合臂相对于键合支撑件表面的倾斜角度;以及选择具有满足预定义的规格的倾斜角度的键合臂的旋转角度位置,使得键合臂基本上垂直于键合支撑件表面对准。

    一种用于检查物体的表面的装置及方法

    公开(公告)号:CN108957910B

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN201810485539.9

    申请日:2018-05-21

    Abstract: 一种用于检查物体的表面的装置具有第一光源,该第一光源用于照射物体而不在物体上产生图案化图像。第二光源将由来自第二光源的第一偏振光产生的图案化图像投影到物体上,其中第一偏振光是在第一偏振方向上偏振的。第三光源将由来自第三光源的第二偏振光产生的图案化图像投影到物体上,其中第二偏振光是在不同于第一偏振方向的第二偏振方向上偏振的。当物体分别由第一、第二和第三光源照射时,成像设备观察物体的表面以便确定物体的表面的轮廓。

    用于传送电子元件的装置
    80.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112216641A

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN201910725164.3

    申请日:2019-08-07

    Inventor: 刘启峰

    Abstract: 一种用于传送电子元件的装置,包括主旋转转台,该主旋转转台包括多个转台拾取头,用于将电子元件输送到与主旋转转台相邻的多个位置;第一旋转机构,用于从电子元件供应装置中拾取电子元件,其中该第一旋转机构在第一转移位置处与主旋转转台可操作地连通;以及第二旋转机构,其在第二转移位置处与主旋转转台可操作地连通,并且还在第三转移位置处与第一旋转机构可操作地连通。

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