公开(公告)号：CN116698245A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310160640.8

申请日：2023-02-23

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 关家胜 ,  高内加·阿吉·士马人 ,  王志韬

IPC: G01L5/00

Abstract: 一种用于测量在将元件键合到元件载体时或在将元件封装时施加到元件上的力的装置，包括可变形部和连接到可变形部的接触杆。可变形部被配置成包含用于检测由于力的施加引起的可变形部的变形程度，以便测量力的传感器。在使用时，接触杆可定位成接触元件或元件载体，使得可变形部在力施加到元件时变形。一个或多个这样的装置可以包括在用于测量所述力的烧结或封装设备中。

公开(公告)号：CN111799194A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010234285.0

申请日：2020-03-30

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 关家胜 ,  高内加·阿吉·士马人 ,  舍望

IPC: H01L21/67 ,  B08B5/02

Abstract: 一种用于清洁衬底上碎屑的衬底清洁设备，该设备具有第一空气喷嘴、第二空气喷嘴和真空喷嘴，其中，第一空气喷嘴限定被配置为提供第一空气射流的第一空气喷孔；第二空气喷嘴限定被配置为提供第二空气射流的第二空气喷孔；并且真空喷嘴限定位于第一空气喷嘴和第二空气喷嘴之间的真空孔。真空孔进一步包括叶状孔，叶状孔横向于第一轴线呈放射状延伸，第一轴线在第一空气喷嘴和第二空气喷嘴之间延伸。