Invention Publication
- Patent Title: 包含在电子元件处理设备中的力测量装置
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Application No.: CN202310160640.8Application Date: 2023-02-23
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Publication No.: CN116698245APublication Date: 2023-09-05
- Inventor: 关家胜 , 高内加·阿吉·士马人 , 王志韬
- Applicant: 先进科技新加坡有限公司
- Applicant Address: 新加坡义顺7道2号
- Assignee: 先进科技新加坡有限公司
- Current Assignee: 先进科技新加坡有限公司
- Current Assignee Address: 新加坡义顺7道2号
- Agency: 北京申翔知识产权代理有限公司
- Agent 艾晶; 孔珊珊
- Priority: 17/683,453 20220301 US
- Main IPC: G01L5/00
- IPC: G01L5/00
Abstract:
一种用于测量在将元件键合到元件载体时或在将元件封装时施加到元件上的力的装置，包括可变形部和连接到可变形部的接触杆。可变形部被配置成包含用于检测由于力的施加引起的可变形部的变形程度，以便测量力的传感器。在使用时，接触杆可定位成接触元件或元件载体，使得可变形部在力施加到元件时变形。一个或多个这样的装置可以包括在用于测量所述力的烧结或封装设备中。
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