公开(公告)号：CN111883447A

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN202010330899.9

申请日：2020-04-24

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 宋景耀 ,  朴池观 ,  黄江 ,  朱亚平 ,  吴茂发

IPC: H01L21/66

Abstract: 通过首先捕获垂直线互连部的俯视图并从该俯视图识别垂直线互连部的尖端的位置，来测量键合到衬底上的垂直线互连部的高度。导电探针位于垂直线互连部的尖端上方，并朝垂直线互连部降低，直到在导电探针和垂直线互连部的尖端之间建立电连接。因此可以确定进行电连接的接触高度，其中接触高度对应于垂直线互连部的高度。

公开(公告)号：CN111668124A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN202010127023.4

申请日：2020-02-28

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 吴茂发 ,  黄江 ,  朱亚平 ,  朴池观 ,  宋景耀

IPC: H01L21/60

Abstract: 一种引线键合方法，包括以下步骤：从毛细管状键合头延伸一段键合引线以形成引线尾；使引线尾上的点变形以在引线尾和键合引线的保留在毛细管状键合头内的剩余部分之间形成弱化部分；以及在将引线尾键合到键合垫和衬底中的至少一个之前，将引线尾的包括所述弱化部分在内的至少一部分缩回到毛细管状键合头中。

公开(公告)号：CN111883447B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202010330899.9

申请日：2020-04-24

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 宋景耀 ,  朴池观 ,  黄江 ,  朱亚平 ,  吴茂发

IPC: H01L21/66

Abstract: 通过首先捕获垂直线互连部的俯视图并从该俯视图识别垂直线互连部的尖端的位置，来测量键合到衬底上的垂直线互连部的高度。导电探针位于垂直线互连部的尖端上方，并朝垂直线互连部降低，直到在导电探针和垂直线互连部的尖端之间建立电连接。因此可以确定进行电连接的接触高度，其中接触高度对应于垂直线互连部的高度。